公开(公告)号：JP2019120932A

公开(公告)日：2019-07-22

申请号：JP2018230933

申请日：2018-12-10

申请人： ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ・コリア・リミテッド

发明人： ヨノック・キム ,  ゲウン・フー ,  ジュ−ヤン・ジュン ,  ジュン−フワ・リー ,  ジョン・ハン・ヤン

IPC分类号： G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  C08L83/08 ,  C08G77/392 ,  G03F7/023

摘要： 【課題】感度を維持したまま、膜保持率および接着性をさらに向上させることができるポジ型感光性樹脂組成物、およびそれから調製された硬化膜に関する。 【解決手段】(A)光により活性化されるスルホン化ジアゾキノン基を末端に含有するシロキサンコポリマーと、(B)アクリル系コポリマーと、(C)溶媒と、を含む、ポジ型感光性樹脂組成物、及びポジ型感光性樹脂組成物から調製された硬化膜。 【選択図】なし

公开(公告)号：JP2019211765A

公开(公告)日：2019-12-12

申请号：JP2019090141

申请日：2019-05-10

申请人： ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ・コリア・リミテッド

发明人： ジュン−ファ・リー ,  ゴン・ホ ,  ジュ−ヤン・ジュン ,  ヨノック・キム

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/075 ,  C08F20/00 ,  G03F7/20 ,  G03F7/023

摘要： 【課題】高コントラストおよび高感度パターンを達成することが可能であり、さらに、ハーフトーンおよびフルトーンを形成したときのパターンの接着性をさらに向上させることができる硬化膜の提供。 【解決手段】(A)アクリル系コポリマーと、(B)シロキサンコポリマーと、(C)フェノール性水酸基を含有する化合物と、(D)1,2−キノンジアジド化合物と、を含む、ポジ型感光性樹脂組成物。 【選択図】なし