公开(公告)号：JP6983812B2

公开(公告)日：2021-12-17

申请号：JP2018556382

申请日：2017-03-29

申请人： ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ・コリア・リミテッド

发明人： ジョン・ハン・ヤン ,  グン・ホ ,  ジン・クォン ,  ジョン−ホ・ナ

IPC分类号： G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  C08F22/20 ,  G03F7/023

公开(公告)号：JP2018533761A

公开(公告)日：2018-11-15

申请号：JP2018518606

申请日：2016-09-22

申请人： ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ・コリア・リミテッド

发明人： ジョン−ホ・ナ ,  クン・ホ ,  ジン・クォン ,  ジョン・ハン・ヤン

IPC分类号： G03F7/023 ,  G03F7/20 ,  G03F7/075

CPC分类号： G03F7/0757 ,  C08G77/18 ,  C08G77/24 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/162 ,  G03F7/168 ,  G03F7/2002 ,  G03F7/322 ,  G03F7/40 ,  H01L21/31056 ,  H01L27/1248 ,  H01L27/1288 ,  H01L27/3258

摘要： 感光性樹脂組成物及びそれから調製された硬化膜が本明細書に開示される。本感光性樹脂組成物は、強い撥水性を有するフッ素原子を含むシロキサンポリマーを、一般的なシロキサンポリマー及びエポキシ化合物を含む組成物に導入し、フッ素基は、硬化した膜の全領域に存在することができ、これにより、硬化した膜の表面の除去がドライエッチングプロセスにより除去された後でさえも、フッ素成分による撥水性が維持され得る。その結果、後処理で使用される化学物質に対する耐性(化学耐性)が最大化されて、優れた安定性を有する硬化膜を提供することができる。 【選択図】なし

公开(公告)号：JP2019526822A

公开(公告)日：2019-09-19

申请号：JP2019503677

申请日：2017-08-10

申请人： ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ・コリア・リミテッド

发明人： ジョン−ホ・ナ ,  グン・フー ,  ジン・クウォン ,  ジョン・ハン・ヤン

IPC分类号： G03F7/023 ,  G03F7/075 ,  G03F7/20 ,  G03F7/004

摘要： 本発明は、感光性樹脂組成物およびそれから調製される硬化膜に関する。感光性樹脂組成物は、従来のシロキサンポリマーおよび1,2−キノンジアジド化合物に加えて熱酸発生剤をさらに含み、キノンジアジド化合物のジアゾナフトキノン基(DNQ)とシロキサンポリマーとの間の水素結合は、たとえ硬化膜の調製中にフォトブリーチング工程が行われなくても、熱酸発生剤から発生する酸によって切断され得る。したがって、感光性樹脂組成物を使用すると、プロセス機器に対するいずれの制約もなく、高透過率および高解像度を有する硬化膜を効率的に提供することができる。また、熱酸発生剤から発生する酸基が−5以下のpKa値を有する強酸である場合、硬化膜の透過率の増加を最大化することができる。 【選択図】なし

公开(公告)号：JP2019120932A

公开(公告)日：2019-07-22

申请号：JP2018230933

申请日：2018-12-10

申请人： ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ・コリア・リミテッド

发明人： ヨノック・キム ,  ゲウン・フー ,  ジュ−ヤン・ジュン ,  ジュン−フワ・リー ,  ジョン・ハン・ヤン

IPC分类号： G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  C08L83/08 ,  C08G77/392 ,  G03F7/023

摘要： 【課題】感度を維持したまま、膜保持率および接着性をさらに向上させることができるポジ型感光性樹脂組成物、およびそれから調製された硬化膜に関する。 【解決手段】(A)光により活性化されるスルホン化ジアゾキノン基を末端に含有するシロキサンコポリマーと、(B)アクリル系コポリマーと、(C)溶媒と、を含む、ポジ型感光性樹脂組成物、及びポジ型感光性樹脂組成物から調製された硬化膜。 【選択図】なし

公开(公告)号：JP2019517023A

公开(公告)日：2019-06-20

申请号：JP2018556382

申请日：2017-03-29

申请人： ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ・コリア・リミテッド

发明人： ジョン・ハン・ヤン ,  グン・ホ ,  ジン・クォン ,  ジョン−ホ・ナ

IPC分类号： G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  C08F22/20 ,  G03F7/023

摘要： 本発明は、感光性樹脂組成物及びそれから調製される硬化膜を提供する。感光性樹脂組成物は、水酸化テトラメチルアンモニウムの水溶液に対して異なる溶解速度を有する2つ以上のシロキサンポリマーの混合物を含む。本組成物は、シロキサンポリマーを含有する組成物の利点である高い透明度及び高感度を維持し、かつ優れた耐薬品性を有し、それにより、後処理において優れた安定性を有する硬化膜を提供する。

公开(公告)号：JP6913679B2

公开(公告)日：2021-08-04

申请号：JP2018518606

申请日：2016-09-22

申请人： ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ・コリア・リミテッド

发明人： ジョン−ホ・ナ ,  クン・ホ ,  ジン・クォン ,  ジョン・ハン・ヤン

IPC分类号： G03F7/023 ,  G03F7/20 ,  G03F7/075

公开(公告)号：JP2018533764A

公开(公告)日：2018-11-15

申请号：JP2018518724

申请日：2016-09-23

申请人： ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ・コリア・リミテッド

发明人： ジン・クォン ,  クン・ホ ,  ジョン−ホ・ナ ,  ジョン・ハン・ヤン

IPC分类号： G03F7/023 ,  G03F7/004 ,  G03F7/075

CPC分类号： G03F7/0757 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/038

摘要： 感光性樹脂組成物及びそれから調製される硬化膜が本明細書に開示される。本感光性樹脂組成物は、シロキサンポリマー、1,2−キノンジアジド化合物、エポキシ化合物、及び式1で表される少なくとも1つのシラン化合物を含む。シラン化合物は、本樹脂組成物中のエポキシ化合物と共に、シロキサンポリマー中に存在する高反応性のシラノール基の数をさらに減少させる。その結果、後処理で使用される化学薬品に対する耐性(耐薬品性)が最大化されて、優れた安定性を有する硬化膜を提供することができる。 【選択図】なし

公开(公告)号：JP2018060191A

公开(公告)日：2018-04-12

申请号：JP2017189242

申请日：2017-09-29

申请人： ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ・コリア・リミテッド

发明人： イヨノク・キム ,  ゲウン・ホ ,  ジョン・ハン・ヤン ,  ジン・ウォン ,  ジン・キュ・イム

IPC分类号： G03F7/023 ,  G03F7/075 ,  C08F120/32 ,  G03F7/004

CPC分类号： G03F7/0048 ,  C08G77/04 ,  C08L83/04 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/039 ,  G03F7/0755 ,  G03F7/0757 ,  C08K5/28 ,  C08K5/08 ,  C08K5/01

摘要： 【課題】シロキサンポリマー及びキノンジアジド化合物とともにアルコール溶媒を使用することによって、アルコールとキノンジアジド化合物のジアゾナフトキノン(DNQ)基との間の相互作用を通して現像剤中の溶解性を増強し、感度を改善することができるだけでなく、ポストベーク処理後であっても、優れた膜保持率を有する硬化膜を形成できる、感光性樹脂組成物及びそれから形成される硬化膜を提供する。 【解決手段】シロキサンポリマーと、1,2−キノンジアジド系化合物と、大気圧で80〜140℃の沸点を有するアルコールを含む溶媒を含む、感光性樹脂組成物。 【選択図】なし