公开(公告)号：JP6930230B2

公开(公告)日：2021-09-01

申请号：JP2017111220

申请日：2017-06-05

Applicant: 大同特殊鋼株式会社

Inventor： 蟹江 三次 ,  小山 恵史 ,  浅野 秀文

IPC: H01L43/08 ,  G01R33/09 ,  H01L43/10 ,  H01L21/8239 ,  H01L27/105 ,  G11B5/39 ,  H01F10/16

公开(公告)号：JP2018206978A

公开(公告)日：2018-12-27

申请号：JP2017111220

申请日：2017-06-05

Applicant: 大同特殊鋼株式会社

Inventor： 蟹江 三次 ,  小山 恵史 ,  浅野 秀文

IPC: H01L43/08 ,  G01R33/09 ,  H01L43/10 ,  H01L21/8239 ,  H01L27/105 ,  G11B5/39 ,  H01F10/16

Abstract: 【課題】耐熱性が高い新規な金属−絶縁体系ナノグラニュラー薄膜、及びこれを用いた薄膜磁気センサを提供すること。 【解決手段】金属−絶縁体系ナノグラニュラー薄膜は、強磁性粒子と、前記強磁性粒子の周囲に充填されたMgAl x O y (1.6≦x≦2.4、3.2≦y≦4.8)からなる絶縁マトリックスとを備えている。前記強磁性粒子は、(Fe 1-x Co x ) 100-y Z y 合金(但し、Z=B及び/又はSi、0≦x≦1、0≦y≦20)、Co 2 Fe(Al 1-x Si x )合金(但し、0≦x≦1)、Co 2 MnZ合金(但し、Z=Al、Si、及びGeからなる群から選ばれるいずれか1以上の元素)、又は、Fe 2 CrSi合金が好ましい。薄膜磁気センサは、このような金属−絶縁体系ナノグラニュラー薄膜を備えている。 【選択図】図1