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1.

发明专利
立体形状を持つサンプルへの露光方法及び露光装置有权
Title translation: 用于与所述三维形状的样品曝光方法及装置

公开(公告)号：JP5649841B2

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：JP2010078956

申请日：2010-03-30

Applicant: 学校法人トヨタ学園

Inventor： 佐々木実 , 久保裕慎

IPC: H01L21/027 , B81C1/00 , G03F7/20

2.

发明专利
誘導結合型マイクロプラズマ源及びこれを利用した装置有权
Title translation: 使用相同的电感耦合微等离子体源和设备

公开(公告)号：JP5758086B2

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：JP2010124388

申请日：2010-05-31

Applicant: 学校法人トヨタ学園

Inventor： 佐々木実

IPC: H01L21/3065 , H01L21/31 , C23C16/513 , H05H1/24

3.

发明专利
浮遊電極の一部がガス流路内部に面している誘導結合型マイクロプラズマ源およびこれを使用した装置有权
Title translation: 使用这种感应耦合源微等离子体和面向所述浮动电极的所述内气体通道装置部

公开(公告)号：JP5966212B2

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：JP2012023681

申请日：2012-02-07

Applicant: 学校法人トヨタ学園

Inventor： 佐々木実

IPC: H05H1/46 , H05H1/24

4.

发明专利
Infrared sensor using the method of detecting infrared radiation using a torsional vibration and torsional vibration this was carried 有权

公开(公告)号：JP5523727B2

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：JP2009083939

申请日：2009-03-31

Applicant: 学校法人トヨタ学園

Inventor： 佐々木実

IPC: G01J1/02

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