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发明专利
13族元素窒化物結晶の製造方法および装置有权

公开(公告)号：JP6621421B2

公开(公告)日：2019-12-18

申请号：JP2016561446

申请日：2015-10-07

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 吉野隆史 , 今井克宏 , 下平孝直 , 和田敬

IPC: C30B29/38

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