公开(公告)号：JP4703456B2

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：JP2006087173

申请日：2006-03-28

Applicant: 大日本印刷株式会社 ,  日本電子材料株式会社

Inventor： 茂樹 中條 ,  悟 倉持 ,  光明 坪井 ,  一道 町田 ,  友弘 石田

IPC: G01R1/073 ,  G01R31/26

公开(公告)号：JP5643476B2

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：JP2008106832

申请日：2008-04-16

Applicant: 日本電子材料株式会社

Inventor： 新一郎 古崎 ,  新一郎 古崎 ,  永田　一志 ,  一志 永田 ,  隆一郎 森 ,  隆一郎 森 ,  輝久 坂田 ,  輝久 坂田 ,  友弘 石田 ,  友弘 石田 ,  一道 町田 ,  一道 町田

IPC: G01R1/073 ,  G01R31/26 ,  H01L21/66