公开(公告)号：JP6405271B2

公开(公告)日：2018-10-17

申请号：JP2015049438

申请日：2015-03-12

Applicant: 日本電子株式会社

Inventor： 中川 靖英

IPC: G01N23/2276 ,  H01J49/48 ,  G01N23/2273

CPC classification number: H01J49/48 ,  G01N23/2273 ,  H01J37/224 ,  H01J37/285 ,  H01J49/0004 ,  H01J49/44 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/24485

公开(公告)号：JP6887935B2

公开(公告)日：2021-06-16

申请号：JP2017216301

申请日：2017-11-09

Applicant: 日本電子株式会社

Inventor： 中川 靖英 ,  島 政英 ,  米井 和則

IPC: G01N23/2273

公开(公告)号：JP2016170015A

公开(公告)日：2016-09-23

申请号：JP2015049438

申请日：2015-03-12

Applicant: 日本電子株式会社

Inventor： 中川 靖英

IPC: G01N23/227

CPC classification number: H01J49/48 ,  G01N23/2273 ,  H01J37/224 ,  H01J37/285 ,  H01J49/0004 ,  H01J49/44 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/24485

Abstract: 【課題】蛍光スクリーンのカメラ画像上での有効範囲を正確に求めることができる電子分光装置を提供する。 【解決手段】電子分光装置100は、試料2から放出された電子をエネルギー分光させるエネルギー分光部20と、分光された電子を増幅するマイクロチャネルプレート30と、マイクロチャネルプレート30で増幅された電子を光に変換する蛍光スクリーン40と、蛍光スクリーン40を撮影するカメラ50と、カメラ50で撮影されたカメラ画像上における蛍光スクリーンの有効範囲を求める有効範囲算出部74とを含み、有効範囲算出部74は、エネルギー分光部20において互いに異なる中心エネルギーで分光されて撮影された複数のカメラ画像を取得する処理と、取得した複数のカメラ画像を、それぞれスペクトルに変換する処理と、複数のスペクトルに基づいて、カメラ画像上における蛍光スクリーンの有効範囲を求める処理と、を行う。 【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种可以高精度地找到照相机图像中荧光屏的有效范围的电子能谱仪。解决方案：电子分光计100包括一个能量分光计单元20，用于使电子从 由能量分离成光谱分量的样品2，用于增加光谱分离的电子的微通道板30，用于将由微通道板30增加的电子转换为光的荧光屏40，用于拍摄荧光屏40的照相机50，以及 有效范围计算单元74，用于找到由照相机50拍摄的摄像机图像中的荧光屏的有效范围，有效范围计算单元74执行以下处理：获取在被相互不同的中心能分离之后拍摄的多个摄像机图像 在能量分光计单元20中，转换多个获取的相机中的每一个 将图像变成光谱，并且基于多个光谱在相机图像中找到荧光屏的有效范围。选择图：图1