公开(公告)号：JP2018536265A

公开(公告)日：2018-12-06

申请号：JP2018534485

申请日：2016-09-21

Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション

Inventor： マッコード マーク ,  シモンズ リチャード ,  マスナゲッティ ダグラス ,  ニッペルマイヤー ライナー

IPC: H01L21/66 ,  H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  H01J37/09

CPC classification number: H01J37/045 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448

Abstract: マルチビーム走査電子顕微鏡検査システムが開示される。マルチビーム走査電子顕微鏡検査システムは電子源とビームレット制御機構を含んでもよい。ビームレット制御機構は、電子源によって供給された電子を用いて複数のビームレットを生成し、1つの時間インスタンスに複数のビームレットのうち1つをターゲットのほうに伝えるように構成されてよい。マルチビーム走査電子顕微鏡検査システムはさらに、ターゲットから後方散乱された電子に少なくとも部分的に基づいてターゲットの画像を生成するように構成された検出器を含んでもよい。

公开(公告)号：JP6412952B2

公开(公告)日：2018-10-24

申请号：JP2016561136

申请日：2014-11-26

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： 備前 大輔 ,  森下 英郎 ,  波田野 道夫 ,  太田 洋也

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J37/22 ,  H01J37/21

CPC classification number: H01J37/263 ,  H01J37/05 ,  H01J37/10 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/21 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/0473 ,  H01J2237/0475 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2806 ,  H01J2237/2823

公开(公告)号：JP2018129171A

公开(公告)日：2018-08-16

申请号：JP2017021166

申请日：2017-02-08

Applicant: 日本電子株式会社

Inventor： 應本 和也

IPC: H01J37/26 ,  H01J49/46 ,  H01J37/28 ,  H01J37/295 ,  H01J37/05

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/2802

Abstract: 【課題】構造を単純化でき、かつ、低収差を実現できるエネルギーフィルタを提供する。 【解決手段】エネルギーフィルタ100は、第1セクターマグネット10と、第2セクターマグネット20と、を含み、第1セクターマグネット10および第2セクターマグネット20は、対称面Mに関して鏡映対称に構成され、クロスオーバーのX方向の結像回数およびクロスオーバーのY方向の結像回数は、1回であり、クロスオーバーのX方向の結像位置およびクロスオーバーのY方向の結像位置は、エネルギー分散面S2であり、像のX方向の結像回数および像のY方向の結像回数は、2回であり、像のX方向の結像位置および像のY方向の結像位置は、対称面Mとアクロマティック面A2である。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2018517263A

公开(公告)日：2018-06-28

申请号：JP2017563593

申请日：2016-06-02

Applicant: ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド

Inventor： ケビン アングリン ,  ウィリアム デイビス リー ,  ピーター クルンツィ ,  ライアン ドウニー ,  ジェイ ティ シェアー ,  アレクサンダー リクハンスキ ,  ウィリアム エム ホルバー

IPC: H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  B08B7/0035 ,  H01J37/241 ,  H01J37/32862 ,  H01J37/3467 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/049 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/334 ,  H01J2237/335

Abstract: イオン注入システムの1つ以上のコンポーネントのその場(in situ)プラズマクリーニングのためのアプローチが本明細書において提供される。1つのアプローチにおいて、前記コンポーネントは、1つ以上の導電ビーム光学系を有するビームラインコンポーネントを含んでもよい。前記システムは、さらに、処理モード中、前記コンポーネントへ第1の電圧及び第1の電流を供給し、洗浄モード中、前記コンポーネントへ第2の電圧及び第2の電流を供給するための電源を含んでもよい。前記第2の電圧及び前記第2の電流は前記コンポーネントの前記導電ビーム光学系に並行して印加してもよく、前記1つ以上の導電ビーム光学系のうちの1つ以上の周りにプラズマを選択的に(例えば、個々に)生成する。前記システムは、さらに、前記コンポーネントへ供給されるエッチャントガスの注入速度を調整するための流れコントローラと、前記コンポーネントの環境の圧力を調整するための真空ポンプとを、含んでもよい。

公开(公告)号：JP6278553B2

公开(公告)日：2018-02-14

申请号：JP2013263448

申请日：2013-12-20

Applicant: アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー

Inventor： シュテファン ラニオ ,  ユールゲン フロジーン ,  ジェラルド シューネッカー ,  ディーター ウィンクラー

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/05 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/147 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/1516 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/2449 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2806 ,  H01J2237/2812 ,  H01J2237/2814

公开(公告)号：JP2017204375A

公开(公告)日：2017-11-16

申请号：JP2016095193

申请日：2016-05-11

Applicant: 日本電子株式会社

Inventor： 向井 雅貴

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/12

CPC classification number: H01J37/24 ,  H01J37/05 ,  H01J37/06 ,  H01J37/147 ,  H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/0473 ,  H01J2237/04735 ,  H01J2237/057

Abstract: 【課題】クロスオーバー位置を一定に保つことができる電子顕微鏡を提供する。 【解決手段】電子顕微鏡100は、電子線を放出する電子源110と、加速電極170a〜170fを備え、電子線を加速させるための加速管170と、初段の加速電極170aとの間でレンズ作用を生じさせる第1電極160と、加速管170に加速電圧を供給する加速用電源部112と、第1電極160に電圧を供給する第1電極用電源部162と、第1電極用電源部162を制御する制御部と、を含み、第1電極160と初段の加速電極170aとの間に生じるレンズ作用によって、電子線はクロスオーバーを形成し、制御部は、加速電圧が変更された場合に、第1電極160に印加される電圧と初段の加速電極170aに印加される電圧との比が一定となるように、第1電極用電源部162を制御する。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP2016170015A

公开(公告)日：2016-09-23

申请号：JP2015049438

申请日：2015-03-12

Applicant: 日本電子株式会社

Inventor： 中川 靖英

IPC: G01N23/227

CPC classification number: H01J49/48 ,  G01N23/2273 ,  H01J37/224 ,  H01J37/285 ,  H01J49/0004 ,  H01J49/44 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/24485

Abstract: 【課題】蛍光スクリーンのカメラ画像上での有効範囲を正確に求めることができる電子分光装置を提供する。 【解決手段】電子分光装置100は、試料2から放出された電子をエネルギー分光させるエネルギー分光部20と、分光された電子を増幅するマイクロチャネルプレート30と、マイクロチャネルプレート30で増幅された電子を光に変換する蛍光スクリーン40と、蛍光スクリーン40を撮影するカメラ50と、カメラ50で撮影されたカメラ画像上における蛍光スクリーンの有効範囲を求める有効範囲算出部74とを含み、有効範囲算出部74は、エネルギー分光部20において互いに異なる中心エネルギーで分光されて撮影された複数のカメラ画像を取得する処理と、取得した複数のカメラ画像を、それぞれスペクトルに変換する処理と、複数のスペクトルに基づいて、カメラ画像上における蛍光スクリーンの有効範囲を求める処理と、を行う。 【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种可以高精度地找到照相机图像中荧光屏的有效范围的电子能谱仪。解决方案：电子分光计100包括一个能量分光计单元20，用于使电子从 由能量分离成光谱分量的样品2，用于增加光谱分离的电子的微通道板30，用于将由微通道板30增加的电子转换为光的荧光屏40，用于拍摄荧光屏40的照相机50，以及 有效范围计算单元74，用于找到由照相机50拍摄的摄像机图像中的荧光屏的有效范围，有效范围计算单元74执行以下处理：获取在被相互不同的中心能分离之后拍摄的多个摄像机图像 在能量分光计单元20中，转换多个获取的相机中的每一个 将图像变成光谱，并且基于多个光谱在相机图像中找到荧光屏的有效范围。选择图：图1

公开(公告)号：JP2016039119A

公开(公告)日：2016-03-22

申请号：JP2014163644

申请日：2014-08-11

Applicant: 日本電子株式会社

Inventor： 向井 雅貴

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/04 ,  H01J37/26 ,  H01J37/05

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/057

Abstract: 【課題】エネルギー選択スリットを円滑に移動させて、エネルギー選択スリットの調整を短時間で行うことができる電子顕微鏡を提供する。 【解決手段】電子顕微鏡100は、電子線EBを放出する電子線源10と、電子線EBの光路に偏向場を発生させて、電子線EBをエネルギーに応じて分散させるエネルギーフィルター22と、エネルギー分散面上に配置され、かつ、エネルギー選択スリット25が形成されたスリットプレート24と、スリットプレート24に吸収された電子線EBの電流を測定する電流測定部50と、電流測定部50の測定結果に基づいて、エネルギーフィルター22の偏向場の強度を制御するエネルギーフィルター制御部60と、を含む。 【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供能够通过平滑移动能量选择狭缝来在短时间内进行能量选择狭缝的调节的电子显微镜。解决方案：电子显微镜100包括：用于发射电子的电子束源10 光束EB; 能量滤波器22，用于在电子束EB的光路上产生偏转场，以根据能量分散电子束EB; 狭缝板24，其布置在能量分散表面上并且形成有能量选择狭缝25; 用于测量由狭缝板24吸收的电子束EB的电流的电流测量单元50; 以及用于根据电流测量单元50的测量结果控制能量滤波器22的偏转场强度的能量滤波器控制单元60.选择的图示：图1

公开(公告)号：JP2016009684A

公开(公告)日：2016-01-18

申请号：JP2015087380

申请日：2015-04-22

Applicant: 韓国標準科学研究院

Inventor： 小川 貴志 ,  趙 福来 ,  安 商丁 ,  朴 寅用 ,  韓 哲洙

IPC: H01J37/12 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317 ,  H01J37/244 ,  H01J37/05

CPC classification number: H01J37/05 ,  G01N23/2251 ,  H01J37/12 ,  H01J37/21 ,  H01J49/44 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/1516 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/24485

Abstract: 【課題】構造が複雑で、高価であり、製作において高精細を要求し、電源の数が非常に多く必要であるという問題を解決する。 【解決手段】 狭い波長範囲の光を供給するために用いるモノクロメータであって、エミッターで放出された荷電粒子ビームが入射され、前記荷電粒子ビームの軌道を屈折させ、複数の電極からなる第1の静電レンズと、中心軸が前記第1の静電レンズの中心軸と同軸に配置され、前記第1の静電レンズと特定の隔離距離を設けて離隔し、前記第1の静電レンズで出射する前記荷電粒子ビームが入射され、前記荷電粒子ビームの軌道を屈折させ、複数の電極からなる第2の静電レンズとを含み、前記荷電粒子ビームは、前記静電レンズの前記中心軸から特定オフセット分ずれた軸外軌道を通過するように構成され、前記荷電粒子ビームが通過すると、前記荷電粒子ビームのエネルギー幅は減少することを特徴とする。 【選択図】 図9

Abstract translation: 要解决的问题：为了解决结构复杂且昂贵的问题，需要制造中的高清晰度，并且需要大量的电源。解决方案：用于提供窄波长范围的光的单色仪包括：第一静电 接收由发射器发射的带电粒子束的透镜折射带电粒子束的路径，并且由多个电极组成; 以及第二静电透镜，其中心轴与所述第一静电透镜同轴配置，并且以特定间隔距离与所述第一静电透镜分离，接收从所述第一静电透镜输出的带电粒子束，折射所述第一静电透镜的路径 带电粒子束，并由多个电极构成。 带电粒子束被设定为使离开静电透镜的中心轴的偏轴路径通过特定偏移，并且当带电粒子束通过时，带电粒子束的能量宽度变窄。

公开(公告)号：JP2015170518A

公开(公告)日：2015-09-28

申请号：JP2014045311

申请日：2014-03-07

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 早田 康成 ,  大橋 健良 ,  三羽 貴文 ,  高橋 範次 ,  川野 源

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J37/244 ,  H01J37/04 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/145 ,  H01J37/21 ,  H01J37/263 ,  H01J37/28 ,  H01J37/292 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/24514

Abstract: 【課題】安定なエネルギー分散の低減を実現するエネルギーフィルタを搭載した走査電子顕微鏡を提供することにある。 【解決手段】電子ビームを発生させる電子源と、電子ビームの異なるエネルギーの電子の軌道を分散させる軌道分散器と、分散された電子ビームのエネルギー範囲の選択を行う選択スリットを有する選択スリット板を有し、選択スリットを透過する電子ビームの透過率をモニターする透過率モニター部を有する。 【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种安装能量过滤器的电子扫描显微镜，其实现了能量分散的稳定降低。解决方案：包括用于产生电子束的电子源的电子扫描显微镜，用于分散具有不同能量的电子轨道的轨道分散器 在电子束中，还具有用于选择分散电子束的能量范围的选择狭缝的选择狭缝板，该透射率监视器用于监视透过选择狭缝的电子束的透射率。