透明導電性フィルム及びその製造方法

    公开(公告)号:JP2017193780A

    公开(公告)日:2017-10-26

    申请号:JP2017110041

    申请日:2017-06-02

    摘要: 【課題】透明導電層の低抵抗特性を実現する透明導電性フィルムを提供すること。 【解決手段】本発明は、高分子フィルム基材と、前記高分子フィルム基材の少なくとも一方の面側に形成された透明導電層とを備える透明導電性フィルムであって、前記高分子フィルム基材の材料は、ノルボルネンの単一成分の高分子もしくは共重合高分子、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリシクロオレフィン、ポリカーボネート、ポリアミド、又は、ポリスチレンのいずれかであり、前記透明導電層は、インジウム−スズ複合酸化物層であり、前記透明導電層中のアルゴン原子の存在原子量が0.05atomic%を超え0.24atomic%以下であり、前記透明導電層中の水素原子の存在原子量が13×10 20 atoms/cm 3 以下であり、前記透明導電層の比抵抗が1.1×10 −4 Ω・cm以上2.8×10 −4 Ω・cm以下である。 【選択図】図1