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公开(公告)号:JP4678334B2
公开(公告)日:2011-04-27
申请号:JP2006148516
申请日:2006-05-29
Applicant: 日立電線株式会社
Inventor: 昇 今井 , 康之 塩澤 , 博英 根本 , 大樹 森 , 博之 高坂 , 文男 高野
IPC: H01L21/60 , H01L23/50
CPC classification number: H01L2924/0002 , H01L2924/00