公开(公告)号：JPWO2020080060A1

公开(公告)日：2021-09-16

申请号：JP2019037993

申请日：2019-09-26

申请人： 昭和電工株式会社

发明人： 中崎 晋 ,  宮原 邦明 ,  福世 知行

IPC分类号： C11D7/32 ,  C11D7/50 ,  H01L21/304

摘要： 接着剤表面との親和性が高く、長期の保存安定性に優れた組成物の提供。第四級フッ化アルキルアンモニウム又は第四級フッ化アルキルアンモニウムの水和物と、非プロトン性溶媒とを含む組成物であって、非プロトン性溶媒が、(A)窒素原子上に活性水素を有さない炭素原子数4以上のN−置換アミド化合物、及び(B)エーテル化合物を含む、組成物。

公开(公告)号：JPWO2020148968A1

公开(公告)日：2021-12-02

申请号：JP2019042936

申请日：2019-10-31

申请人： 昭和電工株式会社

发明人： 中崎 晋 ,  宮原 邦明 ,  福世 知行

IPC分类号： C11D7/32 ,  C11D7/34 ,  C11D7/50 ,  H01L21/304

摘要： 高いエッチング速度を有しており、デバイスウェハなどの基材と固定テープなどの粘着層の接触界面への浸入が抑制された、接着性ポリマーの分解洗浄組成物が提供される。一実施態様の分解洗浄組成物は、第四級フッ化アルキルアンモニウム又は第四級フッ化アルキルアンモニウムの水和物と、非プロトン性溶媒とを含む、接着性ポリマーの分解洗浄組成物であって、非プロトン性溶媒が、(A)窒素原子上に活性水素を有さないN−置換アミド化合物、及び(B)スルホキシド化合物及びスルホン化合物からなる群より選択される少なくとも1種の有機硫黄酸化物を含む。