公开(公告)号：JPWO2018225661A1

公开(公告)日：2020-04-09

申请号：JP2018021277

申请日：2018-06-01

申请人： 昭和電工株式会社

发明人： 福世 知行

IPC分类号： H01L21/3065

摘要： シリコン窒化物層のエッチング速度とシリコン酸化物層のエッチング速度を同程度に制御することができるエッチング方法を提供する。積層されたシリコン酸化物層(2)とシリコン窒化物層(3)とを有する積層膜(5)を備える被処理体を、炭素、臭素、及びフッ素からなるハロゲン化炭素化合物を含有するエッチングガスにより処理する。すると、シリコン酸化物層(2)とシリコン窒化物層(3)とが、同程度のエッチング速度でエッチングされる。

公开(公告)号：JPWO2020148968A1

公开(公告)日：2021-12-02

申请号：JP2019042936

申请日：2019-10-31

申请人： 昭和電工株式会社

发明人： 中崎 晋 ,  宮原 邦明 ,  福世 知行

IPC分类号： C11D7/32 ,  C11D7/34 ,  C11D7/50 ,  H01L21/304

摘要： 高いエッチング速度を有しており、デバイスウェハなどの基材と固定テープなどの粘着層の接触界面への浸入が抑制された、接着性ポリマーの分解洗浄組成物が提供される。一実施態様の分解洗浄組成物は、第四級フッ化アルキルアンモニウム又は第四級フッ化アルキルアンモニウムの水和物と、非プロトン性溶媒とを含む、接着性ポリマーの分解洗浄組成物であって、非プロトン性溶媒が、(A)窒素原子上に活性水素を有さないN−置換アミド化合物、及び(B)スルホキシド化合物及びスルホン化合物からなる群より選択される少なくとも1種の有機硫黄酸化物を含む。

公开(公告)号：JPWO2020080060A1

公开(公告)日：2021-09-16

申请号：JP2019037993

申请日：2019-09-26

申请人： 昭和電工株式会社

发明人： 中崎 晋 ,  宮原 邦明 ,  福世 知行

IPC分类号： C11D7/32 ,  C11D7/50 ,  H01L21/304

摘要： 接着剤表面との親和性が高く、長期の保存安定性に優れた組成物の提供。第四級フッ化アルキルアンモニウム又は第四級フッ化アルキルアンモニウムの水和物と、非プロトン性溶媒とを含む組成物であって、非プロトン性溶媒が、(A)窒素原子上に活性水素を有さない炭素原子数4以上のN−置換アミド化合物、及び(B)エーテル化合物を含む、組成物。

公开(公告)号：JPWO2017014130A1

公开(公告)日：2018-05-10

申请号：JP2017529574

申请日：2016-07-13

申请人： 昭和電工株式会社 ,  国立大学法人信州大学

发明人： 福世 知行 ,  遠藤 守信 ,  竹内 健司

IPC分类号： C08J9/28 ,  B01D69/00 ,  B01D69/02 ,  B01D71/64

CPC分类号： B01D69/00 ,  B01D69/02 ,  B01D69/06 ,  B01D71/64 ,  B05D7/24

摘要： この多孔質膜の製造方法は、ポリイミド系樹脂又はその前駆体を溶媒に溶解して、ポリイミド系樹脂又はその前駆体を含むキャスト液を得る工程と、前記キャスト液を基材上に塗布する工程と、前記キャスト液を、非溶媒に接触させることにより、前記基材と接触していない側の表面にスキン層を有する多孔質構造体を形成する工程と、前記多孔質構造体を乾燥する工程と、前記乾燥した多孔質構造から、前記スキン層を除去する工程と、を有する。

公开(公告)号：JP2017159244A

公开(公告)日：2017-09-14

申请号：JP2016046258

申请日：2016-03-09

申请人： 昭和電工株式会社 ,  国立大学法人信州大学

发明人： 福世 知行 ,  伊藤 勇 ,  前田 潤 ,  遠藤 守信

IPC分类号： B01D69/10 ,  B01D69/12 ,  B01D71/64

摘要： 【課題】薄膜で高い分離機能を有する膜を容易に多孔質膜上に形成することができる分離膜の簡便な製造方法及びその製造方法によって製造された分離膜を提供することを目的とする。 【解決手段】本発明の一態様に係る分離膜は、多孔質膜と、前記多孔質膜の少なくとも一面に載置され、厚みが0.5μm以下のポリイミド系樹脂膜と、を備える。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2016017005A

公开(公告)日：2016-02-01

申请号：JP2014139521

申请日：2014-07-07

申请人： 国立大学法人信州大学 ,  昭和電工株式会社 ,  古河電気工業株式会社

发明人： 遠藤 守信 ,  竹内 健司 ,  藤重 雅嗣 ,  伊藤 勇 ,  前田 潤 ,  長谷川 洋 ,  福世 知行 ,  渡邊 雅重

IPC分类号： D01F9/127 ,  B82Y40/00 ,  B82Y30/00 ,  C01B31/02

摘要： 【課題】カーボンナノチューブをシート状に捕集してカーボンナノチューブ繊維の長尺化を可能にするとともに、カーボンナノチューブ繊維の直径を制御できるカーボンナノチューブ繊維の製造方法を提供する。 【解決手段】本発明に係るカーボンナノチューブ繊維22の製造方法は、炭化水素を含む炭素源と触媒とを含む混合物10をキャリアガスとともに生成反応器12に噴霧し、加熱して、カーボンナノチューブ16を生成させ、生成したカーボンナノチューブ16を、生成反応器12内に配置した所要幅の網状部材により形成した無端ベルト18上に、無端ベルト18内側からガスを排出することにより、シート状に捕集し、シート状のカーボンナノチューブ20を紡糸する。 【選択図】図1

摘要翻译： 要解决的问题：提供一种能够通过收集片状碳纳米管并控制碳纳米管纤维的直径来延伸碳纳米管纤维的碳纳米管纤维的制造方法。解决方案：提供一种生产 通过将包含含有碳水化合物的碳源和载体的碳源的混合物10加热到生产反应器12和片状碳纳米管20中而制造碳纳米管16的碳纳米管纤维22通过收集碳纳米管 通过从环形带18的内部设置在生产反应器12内部的具有所需宽度的网状构件形成的环形带18上排出气体来制造片状碳纳米管16.选择的图示：图1