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公开(公告)号：JP6288724B2
公开(公告)日：2018-03-07
申请号：JP2015540942
申请日：2015-04-24
Applicant: 株式会社シンクロン
CPC classification number: B05B17/04 , B05B9/04 , B05B13/0221 , B05B14/20 , B05B16/60 , B05D1/02 , B05D3/0493 , B05D5/083 , B05D2203/35 , C03C17/30 , C03C2217/76 , C03C2218/15
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公开(公告)号：JP5911160B1
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：JP2015540940
申请日：2015-05-01
Applicant: 株式会社シンクロン
Abstract: 耐久性を備えた薄膜を低コストで成膜する方法を提供する。成膜装置(1)は、基板(100)が内部下方に配置される真空容器(11)と、該容器(11)内を排気する真空ポンプ(15)と、容器(11)外部に設けられた、成膜剤溶液(21)を貯蔵する貯蔵容器(23)と、成膜剤溶液(21)を吐出可能となる吐出部(19)を一端に持つノズル(17)と、貯蔵容器(23)内に貯蔵される成膜剤溶液(21)の液面を加圧する加圧手段(ガス供給源(29)など)を含む。成膜剤溶液(21)として、第1材料(S1)と該S1の蒸気圧(P1)よりも高い蒸気圧(P2)を持つ第2材料(S2)とを含む2種類以上の材料からなり、第1材料の濃度が0.01重量%以上の溶液を用いる。この成膜剤溶液(21)を、P2以上の圧力(但し、P2より一桁以上高い圧力を除く)の雰囲気下で、基板に0.05〜0.3MPaの吐出圧で吐出する。
Abstract translation: 它提供了以较低的成本形成具有薄膜的耐久性的方法。 成膜装置（1）包括：真空容器（11）连接到基板（100）设置在下部，真空泵内用于抽空的容器（11）（15），在所述容器（11）设置在外部 并且，用于存储具有一个排出部，使排出沉积溶液（21）〜（19）在一端处，贮存器沉积的溶液（21）（23），喷嘴（17）的贮存器（23 ）含有（加压用于加压的21液体表面）（气体供给源（29单元）沉积的溶液，以被存储在，等等）。 作为制膜原液（21）由两种或多种材料制成，并且第二材料（S2），其具有比所述第一材料的蒸气压力（S1）和S1（P1）高蒸汽压（P2）的 中，第一材料的浓度，使用0.01重量％以上的解决方案。 膜形成剂溶液（21），P2或多个压力（除了高压比P2高一个数量级）在0.05〜0.3MPa的衬底上的排放压力的排放的气氛下进行。
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公开(公告)号：JP2021179326A
公开(公告)日：2021-11-18
申请号：JP2020083657
申请日：2020-05-12
Applicant: 株式会社シンクロン
IPC: G01N3/56
Abstract: 【課題】正確な荷重を印加できる摩耗試験装置の較正方法及び摩耗試験装置を提供する。 【解決手段】テストピースTP1−TP3の被試験面に対し、所定の角度で所定荷重Fをかけながら、試験ピストンPS1−PS3を所定回数往復摺動させたのち、被試験面の摩耗特性値を評価する摩耗試験装置の較正方法において、前記試験ピストンが前記被試験面に対して摺動している間の、前記被試験面に作用する荷重FD,FS+FDを検出し、前記被試験面に作用する荷重が、前記所定荷重を含む許容範囲に属するように前記摩耗試験装置を較正する。 【選択図】図7
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