Patent search ap:("株式会社ジェイ・イー・ティ") AND inv:"武彦三家本" Page 1

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发明专利
Substrate processing apparatus 有权

公开(公告)号：JP4931042B2

公开(公告)日：2012-05-16

申请号：JP2006108133

申请日：2006-04-10

Applicant: 株式会社ジェイ・イー・ティ

Inventor： 武彦三家本 , 勝吉中務 , 弘山口 , 裕樹江戸

IPC: H01L21/304 , B08B3/04 , F26B3/04 , F26B9/06 , F26B21/00 , F26B21/14

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