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公开(公告)号:JP2016065555A
公开(公告)日:2016-04-28
申请号:JP2014193189
申请日:2014-09-23
Applicant: 株式会社デンソー , 学校法人東京理科大学
Abstract: 【課題】風損を低減するとともに、回転軸の軸方向への変位による減圧機能の低下を防止する。 【解決手段】回転円板50および固定円板60は交互に配置され、固定円板60の面であってロータ30側で回転円板50と対向する面とロータ30と反対側で回転円板と対向する面には流路が設けられ、ロータ30側の面で回転円板50と対向する面に設けられた流路は、回転円板50の回転方向に沿って外縁側から中心側に向かう空気流れを形成する形状となっており、ロータ30側と反対側の面に設けられた流路は、回転円板60の回転方向に沿って中心側から外縁側に向かう空気流れを形成する形状となっている。 【選択図】図4
Abstract translation: 要解决的问题:减少风损,并防止由于旋转轴向轴向移动而引起的减压功能的降低。解决方案:旋转盘片50和固定盘片60交替布置,并且 在与固定盘片60的表面相对的转子30侧的与旋转盘片50相对的面上形成有流路,在与转子30相反的一侧与旋转盘片相对的面。 形成在与转盘30一侧的旋转盘板50相对的面上形成为沿着旋转盘片50的旋转方向从外缘侧向中心侧形成的气流的形状,流路 形成在与转子30一侧相反的一侧的表面上形成沿着固定盘片60的旋转方向从中心侧形成朝向外边缘侧的气流的形状。选择D RAWING:图4
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公开(公告)号:JP2021168372A
公开(公告)日:2021-10-21
申请号:JP2020071926
申请日:2020-04-13
Applicant: 学校法人東京理科大学
Abstract: 【課題】高精度なステージ装置及び該ステージ装置を備えた半導体製造装置を提供すると共に、台座と基部との間の非接触での導電性及び熱伝導性を確保して、台座の帯電抑制及び冷却性向上を可能にする。 【解決手段】微細加工用のステージ装置12は、基部14と、基部14との間に第1隙間S1を空けて設けられた台座16と、基部14に対して台座16を移動させる移動手段18と、を有し、導電性及び熱伝導性を有するイオン液体26が第1隙間S1に配置されている。 【選択図】図1
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公开(公告)号:JP6388399B2
公开(公告)日:2018-09-12
申请号:JP2014226961
申请日:2014-11-07
Applicant: 学校法人東京理科大学
IPC: C10M133/06 , C10M133/12 , B01F17/16 , B01F17/22 , B01F17/42 , F16J15/40 , H01F1/34 , H01F1/28 , C10N30/04 , C10N40/14 , C07C233/54
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公开(公告)号:JP2016088904A
公开(公告)日:2016-05-23
申请号:JP2014226961
申请日:2014-11-07
Applicant: 学校法人東京理科大学
IPC: C07C231/02 , C10M133/06 , C10M133/12 , B01F17/16 , B01F17/22 , B01F17/42 , F16J15/43 , H01F1/34 , H01F1/28 , C10N30/04 , C10N40/14 , C07C233/54
Abstract: 【課題】磁性流体組成物に分散剤として用いることができる新規化合物及びその製造方法、当該化合物を用いる磁性流体組成物及びその製造方法並びに当該磁性流体組成物を含有する磁性流体シールを提供すること。 【解決手段】下記一般式(1)で表される化合物又はその塩。(式中、R 1 及びR 2 は、それぞれ独立に、ヘテロ原子を有してもよい炭素数2〜16の2価の有機基であり、X 1 は、炭素数2〜6のアルキレン基であり、nは、1〜10の整数である。) 【選択図】なし
Abstract translation: 要解决的问题:为了提供能够用作磁性流体组合物的分散体的新型化合物及其制造方法,使用该化合物的磁性流体组合物和制造方法以及含有磁性流体组合物的磁性流体密封剂。 解决方案:提供由通式(1)表示的化合物或其盐。 (1)中,兰德稀土各自独立地为具有2至16个碳原子并且可以具有杂原子的二价有机基团,X为具有2至6个碳原子的亚烷基,n为1至10的整数。选定的图示: 没有
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