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    測定プローブ
    2.
    发明专利
    測定プローブ 有权

    公开(公告)号：JP2017151069A

    公开(公告)日：2017-08-31

    申请号：JP2016036473

    申请日：2016-02-26

    申请人： 株式会社ミツトヨ

    发明人： 古賀 聡 ,  齋藤 章憲 ,  金森 宏之 ,  栗山 豊 ,  石川 修弘

    IPC分类号： G01B5/00 ,  G01B5/012

    CPC分类号： G01B7/012 ,  G01B7/001

    摘要： 【課題】高い感度を保ちながら、簡易的な構成で感度の測定方向依存性を低減可能な測定プローブを提供する。 【解決手段】回転対称形状であって、スタイラス336の姿勢変化を許容する支持部材322、324を、プローブハウジング306の軸方向Oに2つ備え、2つの支持部材322、324のうちで、4つの変形可能な腕部324Bを備える1つの支持部材324に、4つの検出素子325が4回対称の位置に配置され、信号処理回路320は、検出素子325の出力を処理して接触部362の互いに直交する3方向それぞれへの変位成分を示す3つの変位信号Vx、Vy、Vzを出力する第1処理部364を備える。 【選択図】図3

    プローブユニット及び測定システム
    4.
    发明专利
    プローブユニット及び測定システム 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020085747A

    公开(公告)日：2020-06-04

    申请号：JP2018222917

    申请日：2018-11-28

    申请人： 株式会社ミツトヨ

    发明人： 古賀 聡 ,  齋藤 章憲 ,  金森 宏之

    IPC分类号： G01B5/016

    摘要： 【課題】高い耐ノイズ性を保ちながら、安定して高精度な測定が可能な測定プローブおよび測定システムを提供する。 【解決手段】測定プローブ300を有するプローブユニット301において、信号処理回路320は、検出素子325の出力を処理して接触部362の互いに直交する3方向それぞれへの変位成分を合成した合成信号Scを出力する信号合成部364と、合成信号Scが閾値条件を満足した際に、デジタルタッチ信号CPをプローブユニット301の外部に出力する信号出力部366と、を備え、信号出力部366は、閾値条件と合成信号Scとを比較する3つの比較部370を備え、信号出力部366は、被測定物Wの測定をする際には、第1比較部370Aの出力と第2比較部370Bの出力に応じたデジタルタッチ信号CPを出力する。 【選択図】図3

    測定プローブ
    6.
    发明专利
    測定プローブ 有权

    公开(公告)号：JP2017151068A

    公开(公告)日：2017-08-31

    申请号：JP2016036472

    申请日：2016-02-26

    申请人： 株式会社ミツトヨ

    发明人： 古賀 聡 ,  齋藤 章憲 ,  金森 宏之 ,  栗山 豊 ,  石川 修弘

    IPC分类号： G01B21/00 ,  G01B5/00

    CPC分类号： G01B5/30 ,  G01B5/016 ,  G01B7/001 ,  G01B7/012

    摘要： 【課題】簡易的な構造でありながら高い測定感度を確保可能とする測定プローブを提供する。 【解決手段】被測定物と接触する接触部362を有するスタイラス336と、スタイラス336を軸心O上に支持可能なプローブハウジング306と、接触部362の移動を検出可能な検出素子325と、を備える測定プローブ300であって、プローブハウジング306の軸方向Oに配置されスタイラス336の姿勢変化を許容する2つの支持部材322、324と、2つの支持部材322、324を連結する連結シャフト326と、を備え、2つの支持部材322、324のうちで、接触部362に軸方向Oと直交する方向から測定力を加えた際にスタイラス336に生じる回転の回転中心位置から最も離れた支持部材324に検出素子325が配置され、支持部材324の歪み量が検出素子325で検出される。 【選択図】図2