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公开(公告)号:JP6953603B1
公开(公告)日:2021-10-27
申请号:JP2020195875
申请日:2020-11-26
申请人: 株式会社小野測器
摘要: 【課題】大きな定速度に重畳する小さな速度変動を良好に計測する。 【解決手段】第1レーザ光と、第1レーザ光と周波数fA異なる第2レーザ光を被測定物300の同一領域に照射し検出信号bを得る。検出信号bは、被測定物300の定速度成分によるドップラーシフトによる周波数fb(Dv)、被測定物300の速度変動成分Avによるドップラーシフトによる周波数fb(Av)、周波数fAを加算した周波数fb(Dv)+fb(Av)+fAの周波数を有する。ミキサ部112は、fb(Dv)+fAの周波数の発振信号を用いて、検出信号bを周波数fb(Av)の復調対象信号Stに変換する。デジタル復調器113は、復調対象信号Stの周波数fstに適合した測定レンジで周波数fstを高分解能に検出し、周波数fstを速度vに変換する。 【選択図】図2
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公开(公告)号:JP2019113490A
公开(公告)日:2019-07-11
申请号:JP2017249201
申请日:2017-12-26
申请人: 株式会社小野測器
IPC分类号: G01H9/00
摘要: 【課題】レーザドップラ振動計自身の計測に影響を与える振動をより正確に測定する。 【解決手段】センサユニット1は、干渉計111を収容した本体ケース11と、本体ケース11に装着された対物レンズ12とを備えている。干渉計111は、レーザ光を対物レンズ12に出射し、対物レンズ12はレーザ光を測定対象物7上に集光する。干渉計111は、対物レンズ12を介して入射する測定対象物7で反射したレーザ光の反射光と、出射したレーザ光と反射光との干渉を計測する。接触型振動計5を、対物レンズ12の光軸上に位置するように本体ケース11の対物レンズ12が装着される面と反対側の面上に固定し、接触型振動計5によって、対物レンズ12の光軸上の位置における、当該光軸方向の振動を測定する。 【選択図】図3
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