公开(公告)号：JP3663056B2

公开(公告)日：2005-06-22

申请号：JP20755698

申请日：1998-07-23

Applicant: 株式会社日立サイエンスシステムズ ,  株式会社日立製作所

Inventor： 武夫 上野 ,  正弘 富田 ,  貴志夫 日高 ,  紀恵 矢口

IPC: G01N23/225 ,  G01N1/28 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/2001

Abstract: High resolution observation of a sample at a high temperature above 1000° C. is accomplished by suppressing sample drift by heating over a short time and with small electric current. A heater envelope made of a ceramic having a carbon coating on the surface is attached around a heater surrounding the sample. The heater envelope is rotatable around pivot screws, and has an outer frame portion of a holder individually having slots capable of letting an FIB enter so that the sample mounting on the holder, as it is, may be milled with the FIB.

公开(公告)号：JP5235720B2

公开(公告)日：2013-07-10

申请号：JP2009045322

申请日：2009-02-27

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ ,  株式会社日立製作所

Inventor： 正弘 富田 ,  秀孝 阿部 ,  研 原田

IPC: H01J37/20

公开(公告)号：JP5222748B2

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：JP2009015247

申请日：2009-01-27

Applicant: 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 稔 酒巻 ,  正弘 富田 ,  研 原田 ,  功 松井

IPC: H02M3/00