公开(公告)号：JPWO2020075241A1

公开(公告)日：2021-09-02

申请号：JP2018037738

申请日：2018-10-10

Applicant: 株式会社日立ハイテク

Inventor： 玉置 央和

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/22

Abstract: 荷電粒子線システムの制御システムは、荷電粒子線装置によって取得された像または信号の少なくとも一部に対して、ウェーブレット変換または離散ウェーブレット変換による多重解像度解析を行うことによって第1の係数を求める。制御システムは、第1の係数または第1の係数の絶対値の少なくとも一部に対して、最大値の計算、大きさに関する順序の中で指定された順位に対応する数値の計算、ヒストグラムに対するフィッティング、平均値の計算、または総和の計算のうちのいずれかを行うことで第2の係数を求める。

公开(公告)号：JP6783071B2

公开(公告)日：2020-11-11

申请号：JP2016101308

申请日：2016-05-20

Applicant: 株式会社日立ハイテク

Inventor： 伊藤 峻大郎 ,  大八木 敏行 ,  三瀬 大海 ,  玉置 央和

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/24 ,  H01J37/22 ,  H01J37/04

公开(公告)号：JPWO2020144838A1

公开(公告)日：2021-10-21

申请号：JP2019000643

申请日：2019-01-11

Applicant: 株式会社日立ハイテク

Inventor： 土橋 高志 ,  玉置 央和 ,  三瀬 大海

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22

Abstract: 荷電粒子線装置は、試料を保持し移動する移動機構と、試料の画像を取得するために試料に照射される荷電粒子を放出する荷電粒子源と、移動機構を制御して試料を移動し、試料の画像を取得する、制御部と、を含む。制御部は、基準配置状態における前記試料の前記荷電粒子による基準画像を取得し、基準配置状態と異なる目標配置状態における試料のゴール画像を、基準画像から演算により生成し、複数の異なる配置状態それぞれに試料を移動機構により移動し、複数の異なる配置状態それぞれにおける試料の荷電粒子による候補画像を取得し、候補画像それぞれとゴール画像との比較結果を生成する。