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    計測システムおよび計測方法
    1.
    发明专利
    計測システムおよび計測方法 审中-公开
    测量系统和测量方法

    公开(公告)号：JP2015210140A

    公开(公告)日：2015-11-24

    申请号：JP2014090858

    申请日：2014-04-25

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 堀田 尚二 ,  川田 洋揮 ,  井上 修

    IPC: H01J37/28 ,  H01J37/22 ,  H01L21/027 ,  G01B15/04 ,  H01L21/66 ,  G01B15/00

    CPC classification number: H01J37/28 ,  G01B15/00 ,  G01B15/04 ,  G03F9/7061 ,  H01J37/22 ,  H01L21/027 ,  H01J2237/2803

    Abstract: 【課題】上層パターンと下層パターン間の合わせずれを、電子線を走査し高精度に計測する。 【解決手段】基板上に第一のパターンと、第一のパターンよりも後の工程で形成された第二のパターンを有する試料の、第一および第二のパターンを含む領域に対し電子線を走査し、電子線の走査領域内で定義された複数のパターン位置計測領域では、電子線の走査方向および順序が軸対称または点対称となるように電子線を走査することで、帯電の非対称性に起因した計測誤差を低減し、第一のパターンと第二のパターン間の合わせずれを高精度に計測する。 【選択図】 図9(a)

    Abstract translation: 要解决的问题：通过用电子束扫描来精确测量上层图案和下层图案之间的未对准。解决方案：具有第一图案和第二图案的基板样品，其在第一图案之后的步骤中形成 图案在包括第一和第二图案的区域中进行电子束的扫描。 在电子束的扫描区域内定义的多个图案位置测量区域中，进行电子束扫描，使得电子束的扫描方向和顺序为轴对称或点对称。 由此，由于电荷不对称引起的测量误差降低，并且第一图案与第二图案之间的偏移被精确地测量。

    荷電粒子線装置および検査装置
    4.
    发明专利
    荷電粒子線装置および検査装置 有权
    充电颗粒光束装置和检测装置

    公开(公告)号：JP2015203614A

    公开(公告)日：2015-11-16

    申请号：JP2014082640

    申请日：2014-04-14

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 山口 敦子 ,  井上 修 ,  川田 洋揮

    IPC: H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01L21/66 ,  G01B15/00

    CPC classification number: H01L22/12 ,  H01J37/244 ,  H01J37/285 ,  H01L21/0332 ,  H01L21/0335 ,  H01L21/0337 ,  H01L21/0338 ,  H01L22/00

    Abstract: 【課題】SADPを複数回用いて形成された微細ライン&スペースパターンであってもイニシャルコアの位置を高精度に特定可能な荷電粒子線装置を提供する。 【解決手段】荷電粒子線装置において、複数のライン状パターンを有する試料807への荷電粒子線の照射により試料から放出された二次荷電粒子を検出する検出器810と、二次荷電粒子の信号に基づく試料の表面の画像データを表示する表示部817と、画像データから複数のライン状パターンに対するLER値を算出する算出部812と、その値同士を比較してイニシャルコアの位置を判定する判定部816とを有する。 【選択図】図8

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够精确地识别初始核的位置的带电粒子束装置，即使在通过使用SADP形成的细线和空间图案中也可以多次。解决方案：带电粒子束装置包括：检测器 810，用于通过将带电粒子束辐射到样品807，检测从具有多个线状图案的样品807发射的二次带电粒子; 显示单元817，用于基于二次带电粒子的信号在样品的表面上显示图像数据; 计算单元812，用于基于图像数据计算多个线状图案的LER值; 以及确定单元816，用于通过彼此比较来确定初始核心的位置。

    画像処理装置および荷電粒子線装置
    8.
    发明专利
    画像処理装置および荷電粒子線装置 有权
    图像处理装置和充电颗粒光束装置

    公开(公告)号：JP2015141913A

    公开(公告)日：2015-08-03

    申请号：JP2014012068

    申请日：2014-01-27

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 井上 修

    IPC: H01J37/22 ,  H01J37/305 ,  G01N23/225 ,  G01N23/04 ,  G06T7/00 ,  H01L21/66

    Abstract: 【課題】 本発明は、DSAパターンの評価を定量的に行うことが可能な画像処理装置、及び荷電粒子線装置の提供を目的とする。 【解決手段】 上記目的を達成するために、取得画像上で参照画像を用いたマッチング処理を実行する演算装置を備えた画像処理装置であって、前記演算装置は、前記記憶媒体に記憶された自己誘導組織化プロセスによって生成される試料の前記取得画像の第1の領域からの画像の抽出に基づいて参照画像を生成し、前記第1の領域以外の前記取得画像の領域の画像と、前記参照画像を比較し、その一致度、及び前記参照画像のマッチング位置に関する位置情報の少なくとも1つを求める画像処理装置を提案する。 【選択図】 図1

    Abstract translation: 要解决的问题：提供能够定量评估DSA图案的图像处理装置和带电粒子束装置。解决方案：图像处理装置包括使用获取图像上的参考图像执行匹配处理的运算装置。 算术装置基于从存储在存储介质中的自感应组织处理生成的样本的获取图像的第一区域的图像提取生成参考图像，并将所获取图像的其他区域中的图像进行比较 比具有参考图像的第一区域计算其参考图像的匹配位置的一致性和位置信息中的至少一个。

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