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发明专利
試料観察装置有权
Title translation: 样品观察装置

公开(公告)号：JP5965851B2

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：JP2013027894

申请日：2013-02-15

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 土肥歩未 , 船越知弘 , 山本琢磨 , 田盛友浩 , 堺恒弘

IPC: H01J37/28 , H01J37/22

CPC classification number: H01J37/263 , H01J37/241 , H01J37/28 , H01J2237/225 , H01J2237/281

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