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    高電圧電源装置および、荷電粒子ビーム装置
    1.
    发明专利
    高電圧電源装置および、荷電粒子ビーム装置 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2017098573A1

    公开(公告)日：2018-08-09

    申请号：JP2015084353

    申请日：2015-12-08

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 西元 琢真 ,  李 ウェン ,  高橋 弘之 ,  川野 源

    IPC: H01J37/248

    CPC classification number: H01J37/241 ,  H01J37/06 ,  H01J37/244 ,  H01J37/248 ,  H01J2237/026 ,  H01J2237/0473 ,  H01J2237/2448

    Abstract: 高電圧電源装置において、隣接配置された電源回路等から外乱が流入した場合でも,低リップル化を実現できるようにする。 高電圧電源装置を、駆動回路(31)と、駆動回路(31)の出力電圧を昇圧させるトランス(32)と、トランス(32)で昇圧させた電圧を更に昇圧させる昇圧回路(33)と、トランス(32)と昇圧回路(33)とを 覆うシールド(35)と、昇圧回路(33)から出力された高電圧をフィル タリングし平滑化して出力するフィルタ回路(34)とを備えて構成し、複数のインピーダンス素子(391,392,393,394)をループ状に結線して構成したインピーダンスループ回路(39)を更に備え、昇圧回路の接地点(330)とシールドの接地点(350)とフィルタ回路の接地点(340)とは、インピーダンスループ回路(39)を介して接地されるように構成する。

    荷電粒子線装置
    3.
    发明专利
    荷電粒子線装置 有权
    一种带电粒子束装置

    公开(公告)号：JPWO2014171287A1

    公开(公告)日：2017-02-23

    申请号：JP2015512384

    申请日：2014-03-27

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 一郎 藤村 ,  友晴 尾吹 ,  博文 佐藤 ,  大祐 小林

    IPC: H01J37/073 ,  H01J37/153 ,  H01J37/248 ,  H01J37/28

    CPC classification number: H01J37/073 ,  H01J37/241 ,  H01J37/243 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/31749

    Abstract: 荷電粒子線装置は、電界放出電子源と、前記電界放出電子源から電子を引き出すための引出電極と、前記電界放出電子源から放射された電子を加速するための加速電極と、前記電界放出電子源と前記引出電極との間に印加する引出電圧と、前記電界放出電子源と前記加速電極との間に印加する加速電圧と、前記電界放出電子源を加熱するための加熱電圧とを供給可能な電源ユニット(39)と、を備える。前記電源ユニット(39)は、前記電源ユニット(39)の上限値を切替えるための切替部(36)を備える。前記電源ユニット(39)は、前記引出電圧及び前記加速電圧を印加している間に前記切替部(36)を制御することにより、前記引出電圧と前記加速電圧と前記加熱電圧とを同時に供給する。

    Abstract translation: 的带电粒子射线装置包括场发射型电子源，以及用于从所述场发射电子源，用于加速从场发射电子源中，场发射电子发射的电子的加速电极引出电子的引出电极 源和提取电极，加速电极和所述场发射电子源之间施加一个加速电压，以及用于加热能够供应的场发射型电子源的加热电压之间施加的引出电压 包括电源和单元（39），则。 它所述的供电单元（39）包括用于电源单元（39）的上限值切换到（36）的切换单元。 所述电源单元（39）供给通过控制开关单元（36）在提取电压和加速电压，提取电压，加速电压和加热电压的施加，并在同一时间所述 。

    Electron beam processing machine
    8.
    发明专利
    Electron beam processing machine 失效
    电子束加工机

    公开(公告)号：JPS61107646A

    公开(公告)日：1986-05-26

    申请号：JP22848584

    申请日：1984-10-30

    Applicant: Hitachi Ltd

    Inventor： KITA HISANAO ,  YAMAZAKI SHINJI ,  NAKASAKI TAKAMITSU ,  TOKUNAGA KIICHI ,  MIDORIKAWA MASAKAZU ,  UEHARA TAKEO

    IPC: H01J37/30 ,  H01J37/24 ,  H01J37/248

    CPC classification number: H01J37/241

    Abstract: PURPOSE:To interrupt operation of the captioned machine when electrical discharge is produced in an electron gun by detecting a current flowing in a circuit and voltage applied to load, and operating a high-tension interruption device in a state thereof insulated from an earth by means of optical fibers. CONSTITUTION:A high-tension main circuit of an electron beam processing machine is adapted to have a high-tension power source 1, an electron gun 2, and a high-tension interruption device 3, and adapted to interrupt operation of the electron gun 2 by making use of the high-tension interruption device 3 when electrical discharge is produced in the electron gun 2, and return it to an original state after the elapse of prescribed time for protecting the device. A control circuit 4 thereupon receives signals from a beam current detector circuit 6 disposed serially between the high-tension power source 1 and an earth and an accelerating voltage detector circuit 7 arranged parallely to the high-tension main circuit for controlling the high-tension interruption device 3 with use of optical fibers 5. Accordingly, a problem of dielectric strength of the device against the earth can be eliminated to prevent any electrical discharge form being produced in the electron gun 2 for applying the captioned machine with ease to existing processing machines.

    Abstract translation: 目的：通过检测在电路中流过的电流和施加在负载上的电压，在电子枪中产生放电时中断字幕机的操作，并且在通过装置与地球绝缘的状态下操作高压中断装置 的光纤。 构成：电子束处理机的高压主电路适于具有高压电源1，电子枪2和高压中断装置3，适于中断电子枪2的动作 通过在电子枪2中产生放电时利用高压中断装置3，并且在经过用于保护装置的规定时间之后将其返回到原始状态。 控制电路4随后从高压电源1和地之间串联设置的射束电流检测器电路6和与高压主电路平行布置的加速电压检测器电路7接收信号，以控制高压中断 装置3使用光纤5.因此，可以消除器件相对于地球的介电强度的问题，以防止在电子枪2中产生任何放电形式，从而容易地对现有的加工机器施加标题的机器。

    Charged-particle beam device
    9.
    发明专利
    Charged-particle beam device 失效
    充电粒子束装置

    公开(公告)号：JPS59205141A

    公开(公告)日：1984-11-20

    申请号：JP8187883

    申请日：1983-05-09

    Applicant: Mitsubishi Electric Corp

    Inventor： YASUNAGA MASASHI ,  MURAKAMI EISHIN

    IPC: H01J37/06 ,  H01J37/24 ,  H01J37/248 ,  H01J37/305

    CPC classification number: H01J37/241

    Abstract: PURPOSE:To decrease the cost of a charged-particle beam device, reduce a space occupied by an acceleration power supply and reduce the space of the device by using one acceleration power supply for plural electron-beam generators and enabling them to be operated simultaneously or according to the time-division system. CONSTITUTION:The cathode 31 of an electron-beam generator 38 is heated with a cathode-heating power supply 21, and a voltage for accelerating an electron beam 34 is given from an acceleration power supply 7. At the same time, the output voltage of a grid power supply 22 applied across the cathode 31 and a grid 32 is controlled so that the current of the electron beam 34 becomes a given value by detecting the current of the electron beam 34. A plural number of such electron-beam generators 38 and 111 are installed to which acceleration voltages are supplied from the acceleration power supply 7. A cathode-heating power supply 21 and a grid power supply 32 are installed in each of the plural generators 38 and 111. The quantity of the electricity of the electron beam 34 is measured by, for example, a current-measurement resistance 6 placed in a high electric potential area located in a box-like body 36.

    Abstract translation: 目的：为了降低带电粒子束装置的成本，减少加速电源占用的空间，并通过使用多个电子束发生器的一个加速电源减少装置的空间，并使它们能够同时运行， 根据时间分配制度。 构成：用阴极加热电源21加热电子束发生器38的阴极31，从加速电源7给出用于加速电子束34的电压。同时，输出电压 控制施加在阴极31和栅极32上的栅格电源22被控制，使得电子束34的电流通过检测电子束34的电流而变为给定值。多个这样的电子束发生器38和 111被安装到加速电源7向其提供加速电压。阴极加热电源21和电网电源32安装在多个发生器38和111中的每一个中。电子束的电量 34通过例如放置在位于盒状体36内的高电位区域的电流测量电阻6来测量。

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