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    荷電粒子線装置
    3.
    发明专利
    荷電粒子線装置 审中-公开
    充电颗粒光束装置

    公开(公告)号：JP2016004752A

    公开(公告)日：2016-01-12

    申请号：JP2014126285

    申请日：2014-06-19

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 三羽 貴文 ,  宮 豪 ,  菅野 誠一郎 ,  海老塚 泰

    IPC: H01J37/20

    Abstract: 【課題】荷電粒子線装置において、試料への振動や試料室内圧への影響を実質的に与えることなく、接触子と当該試料との接触に起因する異物を捕集する。 【解決手段】荷電粒子線装置は、荷電粒子線源と、記荷電粒子線源からの荷電粒子が照射される試料を設置する試料台と、試料台に設置された試料の電位を制御するために試料に接触する接触子と、接触子を試料に相対的に移動させて試料に接触させる移動機構と、試料と接触子の接触に起因して発生する異物を吸着する液体を含む異物吸着器と、を含む。 【選択図】図3A

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种带电粒子束装置，其能够收集由接触片和样品之间的接触引起的异物而不振荡样品并且基本上影响样品室中的压力。解决方案：带电粒子束装置包括 ：带电粒子束源; 其上安装有从带电粒子束源照射带电粒子的样品的样品台; 接触片，其与安装在样品台上的样品接触以控制样品的电位; 移动机构，通过将接触片相对移动到样品而使接触片与样品接触; 以及异物吸收器，其包括用于吸附由样品和接触片之间的接触产生的异物的液体。

    荷電粒子線装置
    4.
    发明专利
    荷電粒子線装置 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2018096610A1

    公开(公告)日：2019-07-18

    申请号：JP2016084744

    申请日：2016-11-24

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 三羽 貴文 ,  菅野 誠一郎 ,  宮 豪

    IPC: H01J37/28 ,  H01J37/20

    Abstract: 測定試料の外周部に配置される電界補正用電極(201)に付着した異物を除去可能な荷電粒子線装置を提供するために、測定試料を設置する試料ステージ(108)と、測定試料の外周部近傍の電界を補正する電界補正用電極(201)とを有し、荷電粒子線を照射することにより測定試料の測定を行う荷電粒子線装置において、異物除去制御部(122)は、電界補正用電極(201)へ印加される電圧の絶対値が、測定試料を測定する際に電界補正用電極(201)に印加される電圧の絶対値以上となるように電界補正用電極(201)に接続された電源を制御する。

    荷電粒子線装置
    7.
    发明专利
    荷電粒子線装置 审中-公开
    充电颗粒光束装置

    公开(公告)号：JP2016021292A

    公开(公告)日：2016-02-04

    申请号：JP2014143797

    申请日：2014-07-14

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 菅野 誠一郎 ,  海老塚 泰 ,  宮 豪 ,  三羽 貴文

    IPC: H01J37/28 ,  H01J37/20 ,  H01L21/683 ,  H01L21/66 ,  H01J37/21

    CPC classification number: H01J37/21 ,  H01J2237/0044 ,  H01J2237/2007

    Abstract: 【課題】 接触端子を介して試料にリターディング電圧を印加し、試料表面の測定や検査を実行する荷電粒子線装置において、試料と接触端子の接触状態に依存して、リターディングオートフォーカスを実行した際に像ボケが発生することのない荷電粒子線装置を提供する。 【解決手段】 接触端子に印加するリターディング電圧を変化させたときの試料の電位変動を表面電位計で測定し、これから試料の電位変動の時定数を求め、この時定数にもとづいて荷電粒子ビームによる測定または検査を実行継続するか、中止または接触端子と試料の導通確保処理を実行するかを決定する。 【選択図】 図2

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种带电粒子束装置，用于通过接触端子向样品施加延迟电压，以测量和检查样品的表面，这可以防止当延迟自动聚焦时发生图像模糊，依赖于 样品和接触端子之间的接触状态。解决方案：当施加到接触端子的延迟电压发生变化时，样品的电位变化由表面电位计测量，电位变化的时间常数由 潜在的变化。 基于时间常数确定是否执行基于带电粒子束的测量或检查是否继续或停止，或者执行确保样品和接触端子之间的导通的处理。选择图示：图2

    静電チャック機構、及び荷電粒子線装置
    8.
    发明专利
    静電チャック機構、及び荷電粒子線装置 审中-公开
    静电切割机构和充电颗粒光束装置

    公开(公告)号：JP2015176683A

    公开(公告)日：2015-10-05

    申请号：JP2014050971

    申请日：2014-03-14

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 海老塚 泰 ,  菅野 誠一郎 ,  安河内 正也 ,  高橋 正和 ,  石垣 直也 ,  宮 豪

    IPC: H01L21/683 ,  H01J37/28 ,  H01J37/20

    CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/2007

    Abstract: 【課題】 本発明は、試料のエッジ近傍で発生する種々の電界のビームへの影響を抑制する静電チャック機構、及び荷電粒子線装置の提供を目的とする。 【解決手段】 上記目的を達成するために、試料が吸着される側の面となる第1の面(3)と、当該第1の面と試料との間で吸着力を発生するための電圧が印加される第1の電極(4)を有する静電チャック機構であって、第1の面に直交すると共に、前記試料(1)のエッジに接する仮想直線(7)が通過する位置であって、第1の面に対し相対的に試料より離間した位置に配置される第2の電極(6)を有し、第1の面は、第1の面の面方向の大きさが試料に対して小さくなるように形成される静電チャック機構、及び荷電粒子線装置を提案する。 【選択図】 図18

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种静电卡盘机构，其中抑制了在样品边缘附近出现的各种电场的冲击，并提供带电粒子束装置。解决方案：在静电卡盘机构 具有第一表面（3）成为吸收样品一侧的表面;以及第一电极（4），施加有用于在第一表面和样品之间产生吸力的电压，第二电极（6）是 布置在垂直于第一表面并与样品（1）的边缘接触的虚拟直线7通过的位置，并且相对于第一表面与样品分离。 第一表面形成为使得其在平面方向上的尺寸变得小于样品。 还提出了带电粒子束装置。

    静電チャック機構、及び荷電粒子線装置
    10.
    发明专利
    静電チャック機構、及び荷電粒子線装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2019054007A

    公开(公告)日：2019-04-04

    申请号：JP2018237885

    申请日：2018-12-20

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 海老塚 泰 ,  菅野 誠一郎 ,  安河内 正也 ,  高橋 正和 ,  石垣 直也 ,  宮 豪

    IPC: H01J37/28 ,  H01L21/683 ,  H01J37/20

    Abstract: 【課題】 本発明は、試料のエッジ近傍で発生する種々の電界のビームへの影響を抑制する静電チャック機構、及び荷電粒子線装置の提供を目的とする。 【解決手段】 上記目的を達成するために、試料を吸着する試料吸着面(3)と、当該試料吸着面と前記試料との間で吸着力を発生させるための電圧が印加される第1の電極(4)を有する静電チャック機構であって、第1の電極より下側に第1の面(8)を有する第2の電極(6)と、当該第2の電極に負電圧を印加する負電圧印加電源を備え、前記第2の電極は、前記第1の面を包囲すると共に前記試料吸着面より下側に位置する前記第2の電極の最上面となる第2の面(9)を備えている静電チャック機構、及び荷電粒子線装置を提案する。 【選択図】 図18

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