公开(公告)号：JPWO2016117628A1

公开(公告)日：2017-11-02

申请号：JP2016570691

申请日：2016-01-21

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 祟 市村 ,  祟 市村 ,  伊藤　博之 ,  博之 伊藤 ,  加藤　慎一 ,  慎一 加藤 ,  村越　久弥 ,  久弥 村越 ,  正 藤枝 ,  藤枝　　正 ,  三宅　竜也 ,  竜也 三宅 ,  内藤　孝 ,  内藤　　孝 ,  拓也 青柳 ,  拓也 青柳 ,  谷本　憲史 ,  憲史 谷本

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/153

CPC classification number: H01J37/16 ,  C23D5/02 ,  H01J9/18 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147

Abstract: バナジウムガラスコートに基づく荷電粒子線装置の高性能化を実現する荷電粒子線装置、及び荷電粒子線装置用部材の製造方法を達成することを目的とする。内部空間が高真空に排気される金属容器と、前記金属容器の前記内部空間側の表面に形成されたコート層(161、162、163)とを備え、前記コート層(161、162、163)はバナジウムを含むガラス、つまり、非晶質であることを特徴とする真空部材を用いた荷電粒子線装置により達成する。高真空にしたい空間、例えば、電子源周辺部の壁にバナジウムガラスをコートすることで、電子源周辺部でのガス放出量を低減し、コート層でのゲッター効果により、局所排気を実施し、構造が複雑な空間でも大型の高真空ポンプを付けること無く、極高真空を達成する。