公开(公告)号：JPWO2014175074A1

公开(公告)日：2017-02-23

申请号：JP2015513674

申请日：2014-04-11

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 美樹 土谷 ,  康平 長久保 ,  聡 富松

IPC: G01N1/28 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  B25J7/00 ,  G01N1/42 ,  G01N2001/2873 ,  H01J37/28 ,  H01J37/30 ,  H01J37/302 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/2801 ,  H01J2237/30461 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: 熱に弱い材料を観察するための試料作製において、最終観察面を作製した直後の清浄な状態を観察可能とする。冷却機構を備えたマイクロプローブと、試料を冷却した状態を保持する機構を備えた第1の試料ホルダーと、前記マイクロプローブと第1の試料ホルダーを導入できるステージを備えた荷電粒子線装置を使用して試料を作製する方法において、冷却保持された第1の試料ホルダー上の試料から塊状の試料片を切り出す工程と、該試料片を一定温度に冷却された前記マイクロプローブの先端に接着させ、第1の試料ホルダーとは異なる、冷却保持された薄膜観察用の第2の試料ホルダーに前記荷電粒子線装置の真空室内で移載する工程と、薄膜観察用試料ホルダーに移載された該試料片をマイクロプローブから切り離した後、該試料片を切り出し時の厚さよりも薄い厚さに薄膜加工する工程と、薄膜加工後の該試料片を観察する工程とを有する試料作製方法を有する。

Abstract translation: 在用于观察弱材料以热的，可观察到最终观察面制作后立即清洁的状态的样品制备。 使用具有冷却机构的探针，其具有用于保持在其中将样品冷却的状态下的机构的第一样品架，带电粒子束装置设置有能够将所述探针与所述第一样品架的阶段 和制备样品的方法，切削本体从所述样品保持器的样品的第一样品的步骤被冷却保持，在恒定温度下粘附的样件到冷却的微探针的尖端， 从第一样本保持器，传送所述第二样品架用于冷却带电粒子束装置的真空腔室中观察到的保持膜，即在样品架上移送观察薄膜样品的步骤不同 从微探针断开条后，具有的厚度比在切出试片的时间的厚度薄的薄膜处理的步骤的取样操作，并观察薄膜处理后的样品片的步骤 有一个方法。