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    Electron microscope and the sample holder,
    1.
    发明专利
    Electron microscope and the sample holder, 有权

    公开(公告)号：JP5260575B2

    公开(公告)日：2013-08-14

    申请号：JP2010038105

    申请日：2010-02-24

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 紀恵 矢口 ,  康平 長久保 ,  明 渡部

    IPC: H01J37/20 ,  H01J37/18

    CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/206 ,  H01J2237/2065

    Abstract: An object of the present invention is to provide a sample holding unit for an electron beam apparatus which allows observation of a reaction between a sample and gas. In order to solve one of the above-stated problems, the present invention includes: electron beam apparatus sample holding means in which a diaphragm is placed on upper and lower sides of a sample to form a cell for separating a gas atmosphere and a vacuum atmosphere of a sample chamber and sealing an ambient atmosphere of the sample; a gas supply means for supplying gas to an inside of the cell; and exhaust means for exhausting gas. The exhaust means includes a gas exhaust pipe provided in the inside of the cell and an openable/closable exhaust hole provided in a sidewall of the sample holding means so as to pass through the cell. The diaphragm is an amorphous film made of light elements which can transmit an electron beam, such as carbon films, oxide films, and nitride films.

    電子線装置および電子線装置用ガス供給装置
    2.
    发明专利
    電子線装置および電子線装置用ガス供給装置 有权

    公开(公告)号：JPWO2016035493A1

    公开(公告)日：2017-06-22

    申请号：JP2016546386

    申请日：2015-08-03

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 矢口　紀恵 ,  紀恵 矢口 ,  康平 長久保 ,  康平 長久保

    IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/26

    CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/26

    Abstract: 本発明は、電子顕微鏡における試料のその場観察において、従来よりも安全に、かつ、より効率的にガスの取り扱い操作を行うことが可能な装置を提供することを目的とする。試料(13)を保持する試料ホルダ(6)と、当該試料(13)が保持された試料ホルダ(6)を格納する真空の試料室(12)と、当該保持された試料(13)に電子線を照射する電子源(2)と、当該電子線の照射によって前記試料から得られる信号を検出する検出器と、を有する鏡体と、前記鏡体内にガスを導入するガス供給部と、を備え、前記ガス供給部は、小型のガス容器(16(a、b、c))を収納するガス収容器納部(11a)と、当該ガス容器収納部(11a)に収納されたガス容器内のガスを、前記真空の試料室内に保持された試料を少なくとも含む領域に導入するガス導入ノズル(14)と、を有し、前記ガス容器収納部(11a)は、前記鏡体の外であって、かつ前記試料が保持された位置の近傍に配置されることを特徴とする装置を提供する。

    荷電粒子線装置及び当該装置を用いる試料作製方法
    4.
    发明专利
    荷電粒子線装置及び当該装置を用いる試料作製方法 有权
    使用带电粒子射线装置和所述装置的样品制备方法

    公开(公告)号：JPWO2014175074A1

    公开(公告)日：2017-02-23

    申请号：JP2015513674

    申请日：2014-04-11

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 美樹 土谷 ,  康平 長久保 ,  聡 富松

    IPC: G01N1/28 ,  H01J37/20

    CPC classification number: H01J37/20 ,  B25J7/00 ,  G01N1/42 ,  G01N2001/2873 ,  H01J37/28 ,  H01J37/30 ,  H01J37/302 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/2801 ,  H01J2237/30461 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

    Abstract: 熱に弱い材料を観察するための試料作製において、最終観察面を作製した直後の清浄な状態を観察可能とする。冷却機構を備えたマイクロプローブと、試料を冷却した状態を保持する機構を備えた第1の試料ホルダーと、前記マイクロプローブと第1の試料ホルダーを導入できるステージを備えた荷電粒子線装置を使用して試料を作製する方法において、冷却保持された第1の試料ホルダー上の試料から塊状の試料片を切り出す工程と、該試料片を一定温度に冷却された前記マイクロプローブの先端に接着させ、第1の試料ホルダーとは異なる、冷却保持された薄膜観察用の第2の試料ホルダーに前記荷電粒子線装置の真空室内で移載する工程と、薄膜観察用試料ホルダーに移載された該試料片をマイクロプローブから切り離した後、該試料片を切り出し時の厚さよりも薄い厚さに薄膜加工する工程と、薄膜加工後の該試料片を観察する工程とを有する試料作製方法を有する。

    Abstract translation: 在用于观察弱材料以热的，可观察到最终观察面制作后立即清洁的状态的样品制备。 使用具有冷却机构的探针，其具有用于保持在其中将样品冷却的状态下的机构的第一样品架，带电粒子束装置设置有能够将所述探针与所述第一样品架的阶段 和制备样品的方法，切削本体从所述样品保持器的样品的第一样品的步骤被冷却保持，在恒定温度下粘附的样件到冷却的微探针的尖端， 从第一样本保持器，传送所述第二样品架用于冷却带电粒子束装置的真空腔室中观察到的保持膜，即在样品架上移送观察薄膜样品的步骤不同 从微探针断开条后，具有的厚度比在切出试片的时间的厚度薄的薄膜处理的步骤的取样操作，并观察薄膜处理后的样品片的步骤 有一个方法。

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