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1.发明专利
公开(公告)号：JP5464534B1
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：JP2013125591
申请日：2013-06-14
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/09 , H01J37/28
Abstract: 【課題】本発明は観察試料の種類が広範囲に及び、事前登録困難な一次荷電粒子線の照射条件に係るパラメータを有する高汎用性荷電粒子線装置を経験の少ない操作者であっても容易かつ正確に操作して高分解能像を取得可能にすることに関する。
【解決手段】本発明の荷電粒子線装置は例えば荷電粒子源、荷電粒子源からの放出一次荷電粒子線の集束レンズ、一次荷電粒子線をフォーカスする対物レンズ、対物レンズより荷電粒子源側に配置した複数対物絞りを有する可動対物絞り、一次荷電粒子線照射による試料からの二次信号の検出器、検出二次信号を処理し表示する表示部、一次荷電粒子線の複数照射条件の記憶部、動作制御部を備える。 動作制御部は照射条件を選択させ対物絞りの選択照射条件適合不適合を判断し不適合の場合はそれを表示部に表示し、適合の場合は選択照射条件に従い一次荷電粒子線を事前調整し結果を照射条件に係るパラメータとして記憶部に記憶させる。
【選択図】図５-
公开(公告)号：JPWO2014181685A1
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：JP2015515835
申请日：2014-04-23
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/18
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/21 , H01J37/22 , H01J2237/1825 , H01J2237/26 , H01J2237/30
Abstract: 荷電粒子線装置の真空排気構造は、荷電粒子源が設けられた真空室と、真空室に接続された真空配管と、真空配管を介して接続され、真空室内を排気するメイン真空ポンプと、真空配管における真空室とメイン真空ポンプとの間の位置に設けられた非蒸発ゲッターポンプと、真空配管における真空室と非蒸発ゲッターポンプとの間の位置に接続された粗排気ポートと、を備える。粗排気ポートは、粗排気ポートを開閉する粗排気用バルブと、真空室を大気開放するためのリークバルブとを備える。
Abstract translation: 带电粒子束装置的真空排气结构包括真空室带电粒子源提供，连接到所述真空室中的真空配管，经由真空配管，主真空泵用于抽空真空腔，真空被连接 和粗抽端口连接到所述真空室与所述的非蒸散型吸气剂泵和的位置设置的非蒸散型吸气剂泵，在真空室中，并在管的主真空泵之间的真空配管之间的位置。 粗抽端口设置有用于打开和关闭所述粗排气口，真空室和用于空气释放泄漏阀粗糙排气阀。
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公开(公告)号：JPWO2016157403A1
公开(公告)日：2017-12-28
申请号：JP2017508917
申请日：2015-03-31
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Abstract: 試料の撮像画像を用いて試料上での観察範囲を設定する荷電粒子線装置において、ユーザーの視野探しに費やす時間を短くする。試料台の輪郭(S)が例えば円形に構成されている場合、光学像(61)上での試料台像(62)の中心位置を、光学像(61)上での試料台像(62)の輪郭(S)についての複雑で手間がかかる自動画像解析による直接認識によらずに、ユーザーにより光学像(61)上で作成された輪郭(S)に外接する三角形(68)の各頂点(67)の座標から、この三角形(68)の内心を演算することにより、迅速かつ容易に、かつ高精度で取得する。
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