公开(公告)号：JP4851804B2

公开(公告)日：2012-01-11

申请号：JP2006035507

申请日：2006-02-13

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 武夫 上野 ,  充 今野 ,  毅 大西 ,  紀恵 矢口 ,  裕也 鈴木

IPC: H01J37/30 ,  H01J37/22 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3056 ,  H01J37/3005 ,  H01J2237/2516 ,  H01J2237/31745

公开(公告)号：JPWO2015145706A1

公开(公告)日：2017-04-13

申请号：JP2016509786

申请日：2014-03-28

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 裕也 鈴木 ,  裕也 鈴木 ,  長沖　功 ,  功 長沖 ,  弘昭 松本 ,  弘昭 松本

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/252

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N23/2252 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/026 ,  H01J2237/2442 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/2561

Abstract: エネルギー分散型X線(EDX)分析においては、検出器の大面積化等によって、検出される信号のピーク/バックグランド比の低下といった問題が発生していた。上記課題を解決するために、本発明では、試料(301)を保持する本体部と、前記本体部に着脱自在に設けられ、当該本体部に取り付けられることによって、当該本体部に保持された試料(301)を固定する試料押さえ部(103)と、を有し、前記試料押さえ部(103)は、荷電粒子線(106)を通過させるための第1の孔(107)と、前記試料(301)から発生する信号(302)のうち、特定の信号(303)のみを検出器(102)へ導入する第2の孔(108)と、を有することを特徴とする試料ホルダ、及び当該試料ホルダを適用した荷電粒子線装置を提供する。