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    A charged particle beam apparatus
    2.
    发明专利
    A charged particle beam apparatus 有权

    公开(公告)号：JP5358296B2

    公开(公告)日：2013-12-04

    申请号：JP2009131702

    申请日：2009-06-01

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 裕介 丹波 ,  貢 佐藤 ,  要 高橋 ,  俊哉 渡邉 ,  美音 中川 ,  篤 武藤 ,  晃成 森川

    IPC: H01J37/244 ,  H01J37/26

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To separate and detect secondary signal particles generated from a sample surface, dark field transmission signal particles scattered and transmitted in the sample, and bright view field transmission signal particles transmitted without being scattered in the sample in a charged particle beam device, and to observe images having optimum contrast according to purposes. SOLUTION: Among the transmission signal particles obtained by means that primary charged particles beam transmitted through a thin-film sample, in order to detect only the signal particles (dark-field transmission signal particles) scattered inside the sample, a transmission signal conversion member, having an opening at the lower part of the specimen in which transmission signal particles (bright view field transmission signal particles) which do not scatter inside the sample can be transmitted, and a detecting means for detecting signals that collide with the member are installed. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

    アンチコンタミネーショントラップおよび真空応用装置
    3.
    发明专利
    アンチコンタミネーショントラップおよび真空応用装置 有权
    抗污染物阱和真空应用设备

    公开(公告)号：JPWO2015041267A1

    公开(公告)日：2017-03-02

    申请号：JP2015537954

    申请日：2014-09-18

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 考志 水尾 ,  和孝 二村 ,  裕介 丹波 ,  治彦 波多野

    IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

    CPC classification number: H01J37/18 ,  F25B19/005 ,  F25B45/00 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/028 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002

    Abstract: 従来構造では2重の冷却タンクの間を真空断熱し、内側容器に接続した高熱伝導率材を通して冷却部を冷却していた。このような構造では、高熱伝導率材や冷却部への浸入熱に因る影響もあるが、例えば、冷媒に液体窒素を使用した場合で−120℃に到達するまで約30分かかっていた。時間をかけた場合でも−150℃前後までの到達温度であり、液体窒素温度の−196℃に遠く及ばなかった。そこで、本発明に係るアンチコンタミネーショントラップおよび真空応用装置にあっては、真空応用装置で装置内冷却部(5)を冷却する構造であって、冷却部(5)を冷却する冷媒(2)を入れる冷却タンク(1)と前記冷却タンク(1)から冷却部(5)近傍まで冷却パイプ(7)を有し、冷却部(5)先端まで冷媒(2)が供給されることを特徴とする。さらに、冷却パイプ内気泡(10)を逃すためのチューブ(8)を冷却部(5)まで挿入することを特徴とする。

    Abstract translation: 并且在现有的结构双重冷却罐之间的真空绝热，冷却通过连接到内部容器的热传导性高的材料冷却部。 在这种结构中，存在影响由于高热导率材料的浸润热和冷却单元，例如，它需要大约30分钟达到-120℃。在使用液氮的制冷剂的情况下。 最高-150℃之前和之后的温度达到，即使乘以该时间，没有达到远-196℃液氮温度的。 因此，在抗污染物阱，并在真空施加装置根据本发明，设备冷却单元在真空施加装置（5）的结构，用于冷却的制冷剂进行冷却的冷却部（5）（2） 从添加冷却罐（1）的冷却单元和冷却罐（1）（5）在冷却至所述管（7）的附近，其特征在于，所述冷却剂（2）被提供给冷却单元（5）末端 到。 其特征还在于通过将用于气泡（10）的内部未命中冷却管的管（8）的冷却单元（5）。

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