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公开(公告)号：JPWO2011158458A1
公开(公告)日：2013-08-19
申请号：JP2012520273
申请日：2011-06-03
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/09
CPC classification number: G10K11/16 , G21K5/00 , H01J37/28 , H01J2237/0216
Abstract: クリーンルームで使用される荷電粒子線装置等の機器の場合、吸音材として用いられる有機材料の飛沫による発塵性がクリーンルームの防塵性を阻害して障害となる場合がある。本願発明の目的は、クリーンルーム内で使用できるよう、発塵性を低減した防音カバー構造および当該カバーを用いた荷電粒子線装置を提供することである。遮音したい空間を囲むように側壁と天井面を有し、遮音したい空間側に向けた複数の孔と、前記複数の孔につながった空洞部を天井面に設けることで構成した吸音構造部を天井面の下部に設け、前記吸音構造部を前記側壁と前記天井面で囲まれた空間で発生する定在波の周波数に特化した構造とすることで防音カバーを構成する。また前記防音カバーを荷電粒子線の外装カバーとして用いることで上記課題が解決される。
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公开(公告)号：JP5537386B2
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：JP2010250386
申请日：2010-11-09
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
CPC classification number: H01J37/261 , G10K11/172 , H01J37/16 , H01J37/28 , H01J2237/0216
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