公开(公告)号：JP6974787B2

公开(公告)日：2021-12-01

申请号：JP2016240187

申请日：2016-12-12

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 吉井 健太郎 ,  開田 弘明 ,  佐伯 崇

IPC: H03H3/02 ,  H01L23/02 ,  H03H9/02

公开(公告)号：JP2018098599A

公开(公告)日：2018-06-21

申请号：JP2016240187

申请日：2016-12-12

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 吉井 健太郎 ,  開田 弘明 ,  佐伯 崇

IPC: H03H3/02 ,  H01L23/02 ,  H03H9/02

CPC classification number: H03H9/02023 ,  H03H3/02 ,  H03H9/1021 ,  H03H9/174 ,  H03H9/19

Abstract: 【課題】ベース部材と蓋部材との接合部に発生する応力の低減を図る。 【解決手段】ベース部材30と、ベース部材30の上に搭載された圧電振動素子10と、ベース部材30に接合され、圧電振動素子10を収容する内部空間をベース部材30と共に形成する蓋部材20と、を備え、蓋部材20は、圧電振動素子10を挟んでベース部材30と対向する天面部21と、天面部21の主面と交差する方向に延在する側壁部22と、を有し、天面部21の厚みT1が、側壁部22の厚みT2よりも大きい、圧電振動子1。 【選択図】図2