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公开(公告)号：JPWO2012114597A1
公开(公告)日：2014-07-07
申请号：JP2013500839
申请日：2011-12-01
申请人： 株式会社村田製作所
IPC分类号： A61H3/04
CPC分类号： A61G5/022 , A61G5/024 , A61G2203/42 , A61H3/04 , A61H2003/043 , A61H2201/0173 , A61H2201/5007 , A61H2201/5069
摘要： 底面積が小さく、被歩行補助者である老人、身障者等の歩行を補助し、転倒を防止することができる歩行補助車を提供する。本発明に係る歩行補助車は、一対の車輪と、該一対の車輪を駆動する一又は複数の第1駆動部と、一対の車輪を回転することが可能に支持する本体部と、本体部の一端に把持することが可能に設けられている把持部とを備える。本体部のピッチ方向の傾斜角の角度変化を検出するセンサ部と、センサ部からの出力に基づいて、本体部の角度変化が0(ゼロ)となるよう一又は複数の第1駆動部の動作を制御する第1制御部とを備える。
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公开(公告)号：JP5429427B2
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：JP2013500839
申请日：2011-12-01
申请人： 株式会社村田製作所
IPC分类号： A61H3/04
CPC分类号： A61G5/022 , A61G5/024 , A61G2203/42 , A61H3/04 , A61H2003/043 , A61H2201/0173 , A61H2201/5007 , A61H2201/5069
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公开(公告)号：JPWO2007069376A1
公开(公告)日：2009-05-21
申请号：JP2007550084
申请日：2006-09-04
申请人： 株式会社村田製作所
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： H01L21/682 , B32B37/0046 , B32B38/1833 , B32B2305/55 , B32B2309/68 , B32B2309/70 , B32B2457/14 , G02F2001/133354 , Y10T29/49131 , Y10T29/5313 , Y10T29/53174 , Y10T29/53178 , Y10T29/53183 , Y10T156/1075
摘要： 電子部品同士の相対的な位置ずれを確実に修正でき、両者の位置合わせ精度を高める位置合わせ装置、これを備えた接合装置及び位置合わせ方法を提供する。撮像用ポート(21)がチャンバ(3)の外表面から内部側に向かって突出して空間部(11)を区画形成しているため、チャンバ(3)が第2ブロック部材(28)と共に移動する場合でも、画像認識装置(47)を空間部(11)に配置させることで画像認識装置(47)がチャンバ(3)の動きに干渉することを防止できる。これにより、チャンバ(3)の移動を制限することなくチャンバ(3)を自在に移動させることができる。この結果、画像認識装置(47)を配置したことによる制限を受けることなく第1ブロック部材(12)又は第2ブロック部材(28)の一方を他方に対して自在に相対移動させることができ、第1ブロック部材(12)及び第2ブロック部材(28)にそれぞれ保持された第1ウエーハと第2ウエーハの位置合わせを確実に行うことができる。
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公开(公告)号：JP5440924B2
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：JP2009227965
申请日：2009-09-30
申请人： 株式会社村田製作所
IPC分类号： H01L21/677
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公开(公告)号：JP4941307B2
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：JP2007550084
申请日：2006-09-04
申请人： 株式会社村田製作所
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： H01L21/682 , B32B37/0046 , B32B38/1833 , B32B2305/55 , B32B2309/68 , B32B2309/70 , B32B2457/14 , G02F2001/133354 , Y10T29/49131 , Y10T29/5313 , Y10T29/53174 , Y10T29/53178 , Y10T29/53183 , Y10T156/1075
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公开(公告)号：JPWO2015025809A1
公开(公告)日：2017-03-02
申请号：JP2015532845
申请日：2014-08-18
申请人： 株式会社村田製作所
IPC分类号： H01L21/31 , H01L21/316
CPC分类号： C30B35/00 , C30B33/005
摘要： ウェハの温度分布のバラツキをなくし、均一に酸化を進行させることが可能な酸化装置を提供する。本発明に係る酸化装置は、内部を気密にすることが可能なチャンバ1と、チャンバ1の内部にて、酸化対象となるウェハ10を載置するステージ2と、酸化ガスをチャンバ1内へ供給する酸化ガス供給部20とを備える。酸化ガスは真空雰囲気中で加熱することにより気化した水蒸気ガスであり、酸化ガス供給部20は、水蒸気ガスを、内部を真空雰囲気としたチャンバ2内へ流量制御して供給する。
摘要翻译： 消除晶片的温度分布的不均匀性，提供能够均匀地超前于氧化的氧化剂。 根据本发明，供应和腔室1能够将内部气密的在腔室1的内部，用于安装的晶片10的阶段2氧化设备被氧化靶，氧化性气体向腔室1 和用于氧化剂气体供给单元20。 氧化剂气体是通过加热在真空气氛中蒸发的水蒸汽的气体，氧化剂气体供给单元20，蒸汽气体被供给到流量控制内部到腔室2中的真空气氛。
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