プラズマ洗浄装置及びプラズマ洗浄方法

    公开(公告)号:JP2020081923A

    公开(公告)日:2020-06-04

    申请号:JP2018215953

    申请日:2018-11-16

    Abstract: 【課題】プラズマ洗浄装置において、真空ダクトに設置された機器の過温度に伴う故障や寿命劣化等の問題を解決すること。 【解決手段】プラズマ洗浄装置1は、磁場を発生する磁場発生部11と、マイクロ波を発生するマイクロ波発生源22と、ガスを供給するガス供給源32とを備え、磁場が印加された真空ダクトの内部にプラズマを発生させて真空ダクトの内壁面をプラズマ洗浄する。プラズマ洗浄装置1は、運転制御装置51を更に備える。運転制御装置51は、真空ダクトの温度に応じて、磁場発生部11用の磁場発生用電源12と、マイクロ波発生源22と、ガス供給源32とのうち少なくとも1つを制御することで、プラズマの電力を調整する。 【選択図】 図2

    気流発生装置、気流発生方法および風力発電装置

    公开(公告)号:JP2018073606A

    公开(公告)日:2018-05-10

    申请号:JP2016211602

    申请日:2016-10-28

    CPC classification number: Y02E10/721 Y02E10/723

    Abstract: 【課題】湿度の変化を反映して電源条件を制御する気流発生装置、気流発生方法および風力発電装置を提供すること。 【解決手段】 本発明の実施形態によれば、誘電体基板に設けられた電極に電圧を印加する電源装置と、前記電源装置から出力される前記電圧の電源条件を制御する制御装置と、を備える気流発生装置において、前記気流発生装置は、前記誘電体基板近傍または周囲の湿度を測定する湿度センサを備え、前記制御装置は、前記湿度センサで測定する前記湿度が変化した場合に、前記電源条件と前記湿度との関係に基づいて、前記電源装置の前記電源条件が前記湿度センサで測定した前記湿度に対応する前記電源条件になるよう制御する。 【選択図】図1

    水蒸気分離装置
    9.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2018094539A

    公开(公告)日:2018-06-21

    申请号:JP2016244904

    申请日:2016-12-16

    Abstract: 【課題】 火力発電所の煙道への水蒸気分離膜の適切な設置を行う。 【解決手段】 実施形態によれば、燃料を燃焼することで生じる熱を使って高温高圧の蒸気を発生させるボイラーと、前記ボイラーで発生した蒸気が持つエネルギーを発電機の駆動力に変換する蒸気タービンと、を有する火力発電システムに適用される発電排ガス中水蒸気回収システムの水蒸気分離装置であって、1つ又は複数のモジュールを含み、各モジュールは、水蒸気のみを透過する水蒸気分離膜を備え、当該水蒸気分離膜を用いて排ガス中に含まれる水蒸気以外の成分と水蒸気とを分離させるものであり、前記水蒸気分離膜は、複数本の中空糸膜を束ねたエレメントで構成されており、前記エレメントは、当該エレメントの長手方向の強度を補強する中空糸ホルダーに保持されており、前記中空糸ホルダーは、排ガスが前記エレメントに直接接触するように開口している部分を有する、水蒸気分離装置が提供される。 【選択図】図7B

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