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公开(公告)号：JP2021117037A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：JP2020009044
申请日：2020-01-23
Applicant: 株式会社神戸製鋼所
IPC: G01N29/06
Abstract: 【課題】被検査物の表面の組織形態を広範囲に亘って可視化した画像を手軽にかつ短時間で生成する。 【解決手段】画像生成方法は、被検査物8の表面8aに漏洩表面波W3(図3)を発生させる条件の下でプローブ2から放射され、かつ被検査物8の内部8bを焦点fにして収束する超音波W1で表面8aを走査する走査工程と、表面8aに発生した漏洩表面波W3が放射した放射波W4(図3)を含む表面8aからの反射波W2をプローブ2で受信し、反射波W2の受信信号S2を生成する受信工程と、表面8aの各点に対応する受信信号S2の変化の大きさを示す画像を生成する生成工程と、を備える。 【選択図】図1
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