公开(公告)号：JP2021137927A

公开(公告)日：2021-09-16

申请号：JP2020038725

申请日：2020-03-06

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 森浦 拓也 ,  寺田 哲也 ,  外崎 宏 ,  曽根 忠一 ,  伊藤 雅佳 ,  小畠 厳貴

IPC: B24B37/10 ,  B24B57/02 ,  B24B55/06 ,  H01L21/304 ,  B24B37/00

Abstract: 【課題】基板の研磨レートを維持し、かつ、研磨液の使用量を削減する。 【解決手段】研磨パッド100を支持するための研磨テーブル20と、基板WFを保持するための研磨ヘッド30と、研磨パッド100と基板WFとの間に研磨液を供給するための研磨液供給装置40と、を含み、研磨液の存在下で研磨パッド100と基板WFとを接触させて互いに回転運動させることにより基板WFの研磨を行う研磨装置1であって、研磨液供給装置40は、基板WFに対して研磨パッド100の回転上流側に配置された状態において、研磨パッド100の回転方向と交差する方向に配列された複数の研磨液供給口414を有し、複数の研磨液供給口414から供給される研磨液が所定の流量分布となるように研磨液を供給する。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP6345474B2

公开(公告)日：2018-06-20

申请号：JP2014094137

申请日：2014-04-30

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 青野 弘 ,  曽根 忠一 ,  新海 健史 ,  相澤 英夫

IPC: B24B7/00 ,  B24B55/00 ,  H01L21/304 ,  B24B37/34

公开(公告)号：JP2018001388A

公开(公告)日：2018-01-11

申请号：JP2016135947

申请日：2016-07-08

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 外崎 宏 ,  斎藤 賢一郎 ,  曽根 忠一

IPC: B25B33/00

Abstract: 【課題】ターンテーブルからクロスを容易に剥離することができ、しかもその構造が簡単なターンテーブル用クロスの剥離治具を提供する。 【解決手段】ターンテーブル用クロスの剥離治具10は、クロスの外周縁を挟持するクロス挟持部材11と、クロス挟持部材11を引っ張るためのハンドル12と、を備える。クロス挟持部材11は、クロスの外周縁をその上下から挟持する上部材21および下部材22を有し、上部材21および下部材22の互いに対向する面には互いに噛合可能な歯が設けられており、当該歯が設けられた部分の長手方向の長さLは5cm以上である。 【選択図】 図1

公开(公告)号：JP6259366B2

公开(公告)日：2018-01-10

申请号：JP2014141732

申请日：2014-07-09

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 相澤 英夫 ,  梅本 正雄 ,  曽根 忠一 ,  小菅 隆一

IPC: B24B37/015 ,  H01L21/304 ,  B24B37/10

CPC classification number: B24B37/015 ,  B24B37/04 ,  B24B37/107

公开(公告)号：JP6091976B2

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：JP2013089254

申请日：2013-04-22

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 小菅 隆一 ,  梅本 正雄 ,  中野 央二郎 ,  曽根 忠一

IPC: B24B37/04 ,  H01L21/304

公开(公告)号：JP2015207602A

公开(公告)日：2015-11-19

申请号：JP2014085777

申请日：2014-04-17

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 青野 弘 ,  曽根 忠一 ,  相澤 英夫 ,  新海 健史

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/304

Abstract: 【課題】ウェハを搬送する搬送ロボットに用いられ、ウェハから落ちた液体が飛び散らないように収集する排水機構を提供する。 【解決手段】基板を垂直方向に搬送する搬送ロボットに用いられる排水機構であって、搬送ロボット300の下に設けられ、搬送ロボット300と共に垂直方向に移動する防水パン301と、搬送ロボット300に近接して立設されていると共に鉛直方向に沿った切欠きを有する樋303と、一端が防水パン301の排水口に接続され、他端が切欠きを介して樋303の内部に挿入された排水管302とを備える。 【選択図】図3

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种排放机构，其用于传送晶片并收集从晶片滴下的液体而不散射液体的传送机器人。解决方案：排水机构用于传送机器人，该传送机器人以垂直方式传送基板 方向，包括：设置在传送机器人300下方并与传送机器人300沿垂直方向移动的防水卷轴301; 竖立在靠近传送机器人300并具有沿垂直方向形成的切口的沟槽303; 以及排水管302，其一端与防水卷轴301的排出口连接，另一端通过切口插入沟槽303。

公开(公告)号：JP2015204405A

公开(公告)日：2015-11-16

申请号：JP2014083500

申请日：2014-04-15

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 小寺 剛 ,  曽根 忠一 ,  牛丸 誠也 ,  田中 智裕

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  H01L21/677

Abstract: 【課題】反転機の傾き調整に要する時間を短縮する。 【解決手段】反転機は、ウェハWの周縁部を把持するための一対のアームと、一対のアームに取り付けられ一対のアーム間を延伸するシャフトと、シャフトをシャフトの延伸方向に伸縮可能な駆動機構と、駆動機構、シャフト、及び、一対のアームを、一対のアーム間を一対のアームの延伸方向に沿って延伸する回転軸周りに回転可能な回転機構と、を備える。また、反転機は、アーム310−1とシャフトのフランジ314aを貫通して設けられ、アーム310−1がシャフトのフランジ314a周りに回転するのを規制する棒状の規制ピン315を備える。 【選択図】図4

Abstract translation: 要解决的问题：缩短变频器倾斜调节所需的时间。解决方案：逆变器包括：一对用于保持晶片W边缘的臂; 轴，其连接到所述一对臂并且在所述一对臂之间拉伸; 驱动机构，其能够在所述轴的拉拔方向上使所述轴伸长/收缩; 以及旋转机构，其能够使驱动机构，所述轴和所述一对臂绕着在所述一对臂的拉拔方向上被拉伸的旋转轴旋转。 逆变器还包括杆状调节销315，其在穿过轴的臂310-1和凸缘314a时被设置并且调节臂310-1围绕轴的凸缘314a旋转。

公开(公告)号：JP5795977B2

公开(公告)日：2015-10-14

申请号：JP2012056679

申请日：2012-03-14

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 相澤 英夫 ,  曽根 忠一 ,  梅本 正雄

IPC: B01D45/12 ,  B24B37/34 ,  B24B57/00

CPC classification number: B08B3/14 ,  B01D19/0057 ,  B24B57/02 ,  B04C2003/006

公开(公告)号：JP2020082323A

公开(公告)日：2020-06-04

申请号：JP2018225355

申请日：2018-11-30

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 山崎 孝史 ,  小畠 厳貴 ,  小菅 隆一 ,  曽根 忠一

IPC: B24B37/00 ,  B24B53/017 ,  B24B37/30 ,  H01L21/304 ,  B24B57/02

Abstract: 【課題】付加価値を高めることができる研磨装置を提供する。 【解決手段】研磨装置PAは、研磨パッド1を支持する研磨テーブル2と、基板Wを研磨パッド1に押し付けるトップリング3と、液体を研磨パッド1に供給する液体供給機構4と、を備える。液体供給機構4は、研磨テーブル2の半径方向に移動可能なノズルアーム30と、ノズルアーム30に取り付けられた液体噴射ノズル33と、を備えている。液体噴射ノズル33は、その内面34に形成され、かつテーパー形状を有する液体絞り面34cを有する扇形ノズルである。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP6373796B2

公开(公告)日：2018-08-15

申请号：JP2015098706

申请日：2015-05-14

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 篠崎 弘行 ,  曽根 忠一 ,  青野 弘 ,  新海 健史

IPC: B24B55/00 ,  B24B55/03 ,  H01L21/304