公开(公告)号：JP5775383B2

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：JP2011145124

申请日：2011-06-30

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 王 新明 ,  松下 邦政 ,  及川 文利

IPC: B08B1/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67046 ,  B08B1/04

公开(公告)号：JP5712061B2

公开(公告)日：2015-05-07

申请号：JP2011133842

申请日：2011-06-16

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 王 新明 ,  宮崎 充 ,  松下 邦政

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67051 ,  B08B3/024