公开(公告)号：JP2021184463A

公开(公告)日：2021-12-02

申请号：JP2021083726

申请日：2021-05-18

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 高東 智佳子 ,  宇野 恵 ,  阿部 祐士 ,  近 隼也 ,  中村 由美子 ,  嶋 昇平

IPC: G01N5/02 ,  G01N29/036 ,  B08B3/04 ,  H01L21/304

Abstract: 【課題】改善されたブレークイン処理や、改善された洗浄部材の出荷前検査にも適用できる、新たな洗浄部材の汚染度評価方法を提供する。 【解決手段】基板に当接してスクラブ洗浄する洗浄部材の洗浄度を判定する方法は、電極上に汚染物質を付着させる前の水晶振動子の振動数を測定し、初期値として記録媒体に記録しS50、洗浄部材から洗浄液中に汚染物質を放出させることで、洗浄部材のセルフクリーニングを行いS51、セルフクリーニングの排液を水晶振動子の電極上に接触させ、排液中に含まれる汚染物質を水晶振動子の電極上に付着させたのち、電極上に汚染物質が付着している水晶振動子の振動数応答を測定し、測定された振動数応答に基づいて、洗浄部材の洗浄度を判定しS52、水晶振動子の電極上から汚染物質を除去するS53。 【選択図】図14