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公开(公告)号：JP6323943B2
公开(公告)日：2018-05-16
申请号：JP2014022206
申请日：2014-02-07
Applicant: 株式会社PARAM
Inventor： 安田 洋
IPC: H01J37/153 , H01J37/28 , H01J37/305 , H01J37/143
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公开(公告)号：JP2016201316A
公开(公告)日：2016-12-01
申请号：JP2015082044
申请日：2015-04-13
Applicant: 株式会社PARAM
Abstract: 【課題】オゾンを効率的に発生すると共に微小の流量とする。 【解決手段】オゾン生成器34は、絶縁体で周囲を囲まれた断面積Aを有するオゾン生成空間に前記気圧制御手段からの酸素ガスを流すとともに、オゾン生成空間に高電圧高周波を印加することで酸素ガスからオゾン含有ガスを生成する。高抵抗流路36は、オゾン生成器34から真空装置37に至るガス流路に設けられ、断面積Bを有する。断面積Bが断面積Aに比較して小さいことによって、オゾン生成器にて生成されるオゾン含有ガスの流量に制限を加えることによって、オゾン生成空間を流れるオゾン含有酸素ガス流速を十分に低速とし、微小量で一定量のオゾン含有ガスが真空装置内に流入する。 【選択図】図1
Abstract translation: 本发明公开了有效地的微小流量以及产生臭氧。 甲臭氧发生器34，与氧气气体从压力控制流程一起装置到臭氧发生空间具有由绝缘体包围的横截面面积A，施加高电压高频率臭氧发生空间 在从氧气产生含臭氧气体。 高阻力流道36在气体流动路径，从臭氧发生器34的真空装置37提供具有横截面面积B. 通过截面积B小于截面积A时，通过将限制由臭氧发生器产生的含臭氧的气体的流量，彻底减慢流过臭氧产生空间中的含臭氧的氧气流量 用少量一定量含臭氧的气体的流入真空系统。 点域1
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公开(公告)号：JP6548179B1
公开(公告)日：2019-07-24
申请号：JP2018051579
申请日：2018-03-19
Applicant: 株式会社PARAM
IPC: H01J37/06 , H01L21/027 , H01J1/148 , H01J37/065
Abstract: 【課題】電子銃の高輝度化と長寿命化を達成する。 【解決手段】主としてLaB 6 またはCeB 6 を元にした電子銃陰極材料105を用いた電子銃に関する。電子銃陰極材料105を保持する真空室内部に、メタンガスまたはエタンガスを1×10 −4 pascal以下の真空分圧となるように流入せしめて、1000℃から1500℃の温度範囲で加熱する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2018133150A
公开(公告)日：2018-08-23
申请号：JP2017024492
申请日：2017-02-13
Applicant: 株式会社PARAM
IPC: H01J37/06 , H01J37/28 , H01L21/027 , G03F7/20 , H01J37/305
Abstract: 【課題】低真空度で高輝度長寿命の電子銃陰極を提供する。 【解決手段】電子銃の陰極が、レニウム単結晶103の六方晶系のC軸方向をビーム軸と一致させた角柱または円柱の支持部を有し陰極の先端部は円錐型、または円錐台形、または角錐台形の形状をしている。この電子銃陰極の先端に強電界を印加し、陰極をPG(パイロリティック・グラファイト)ヒータ104a,104bで加熱し、熱電子またはショットキー放出電子を放出する。レニウム単結晶の総面積を小さくして消費電力を抑制し、かつ1×10 -4 pascalの低真空度で高輝度長寿命が可能となる。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017201609A
公开(公告)日：2017-11-09
申请号：JP2016093476
申请日：2016-05-06
Applicant: 株式会社PARAM
Inventor： 安田 洋
IPC: H01J1/15
Abstract: 【課題】高輝度・長寿命・低真空度耐性・高均一照射の電子銃を構成する。 【解決手段】第一の高融点金属により構成されるとともに、第二の金属元素103,104,105および硼素102を含む基体106を有する。第一の高融点金属は、ハフニウム、タンタル、タングステン、レニウム、オスミウム、イリジウム、モリブデン、ニオブ、ルテニウムの内の1つ以上を含む。第二の金属元素は、金属および硼素原子と結合し、硼素原子102が、電子が放出される真空107側に面する。 【選択図】図1
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2017183213A
公开(公告)日：2017-10-05
申请号：JP2016072458
申请日：2016-03-31
Applicant: 株式会社PARAM
Inventor： 安田 洋
IPC: H01J1/16 , H01J37/063
Abstract: 【課題】従来に比較して高輝度の電子銃を構成する。 【解決手段】レニウムを始めとする融点が1900K以上の高融点金属(701)を電子銃の基盤として用い、基盤に掘った溝(801)または穴または、高融点の微細ワイヤを用いた硼素蓄積部に硼素(802)を格納し、高融点金属と硼素の融点以下の温度で、硼素を拡散することで、真空側に正の電荷を有する硼素層と、基盤側に負の電荷を有する金属層からなる電気2重層を構成して、仕事関数を低減し、電子銃の輝度を上げる。 【選択図】図8
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公开(公告)号：JP6002989B2
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：JP2012118280
申请日：2012-05-24
Applicant: 株式会社PARAM
Inventor： 安田 洋
IPC: H01J37/305 , H01L21/027 , H01J37/075
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公开(公告)号：JP5709922B2
公开(公告)日：2015-04-30
申请号：JP2013074440
申请日：2013-03-29
Applicant: 株式会社PARAM
Inventor： 安田 洋
IPC: H01J37/075 , H01J37/073
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公开(公告)号：JP2019164920A
公开(公告)日：2019-09-26
申请号：JP2018051579
申请日：2018-03-19
Applicant: 株式会社PARAM
IPC: H01J37/065 , H01J37/06 , H01L21/027 , H01J37/075
Abstract: 【課題】電子銃の高輝度化と長寿命化を達成する。 【解決手段】主としてLaB 6 またはCeB 6 を元にした電子銃陰極材料105を用いた電子銃に関する。電子銃陰極材料105を保持する真空室内部に、メタンガスまたはエタンガスを1×10 −4 pascal以下の真空分圧となるように流入せしめて、1000℃から1500℃の温度範囲で加熱する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2019153563A
公开(公告)日：2019-09-12
申请号：JP2018040251
申请日：2018-03-06
Applicant: 株式会社PARAM
IPC: H01L21/027 , G03F7/20 , H01J37/065
Abstract: 【課題】電子銃の寿命を長くする。 【解決手段】主としてLaB6またはCeB6を元にした電子銃陰極材料101を用いた電子銃に関する。電子銃陰極材料は円柱軸として電子銃の中心軸に存在する。電子銃陰極材料101の円柱軸をカバーするごとく金属レニウムの円筒ないし、円錐台形からなるカバー部(レニウムカバー102)を付加してもって電子銃陰極全体を構成する。電子銃先端円形表面から出る電子を熱電子として使用する。電子銃の使用温度において、電子銃先端面から真空内へ蒸発し、消耗する電子銃陰極材料を補償するように、消耗した電子銃陰極材料101を電子銃先端方向に向かって、直線的に一方向へ機械的に駆動せしめて、電子銃先端面の高さを維持することにより、電子銃全体としての寿命を長くする。電子銃陰極材料はLaB6またはCeB6以外の電子銃陰極材料を用いても良い。 【選択図】図1
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