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公开(公告)号：JP6894281B2
公开(公告)日：2021-06-30
申请号：JP2017079179
申请日：2017-04-12
申请人： 株式会社SCREENホールディングス
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/683 , G03F7/20
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公开(公告)号：JP2018147918A
公开(公告)日：2018-09-20
申请号：JP2017038236
申请日：2017-03-01
申请人： 株式会社SCREENホールディングス
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
摘要： 【課題】稼働効率を向上させることが可能な露光装置、基板処理装置、露光方法および基板処理方法を提供する。 【解決手段】投光部160により基板Wの被処理面に真空紫外線が照射される。投光部160から基板Wへの真空紫外線の照射期間に、照度計183により真空紫外線の一部が受光され、受光された真空紫外線の照度が計測される。照射期間において照度計183の受光面への真空紫外線の入射が遮光部により断続的に遮られる。照度計183により計測された照度に基づいて投光部160による基板Wへの真空紫外線の照射が停止される。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6803296B2
公开(公告)日：2020-12-23
申请号：JP2017105673
申请日：2017-05-29
申请人： 株式会社SCREENホールディングス
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/677 , G03F7/20
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公开(公告)号：JP2018146617A
公开(公告)日：2018-09-20
申请号：JP2017038237
申请日：2017-03-01
申请人： 株式会社SCREENホールディングス
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/30 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/20 , G03F7/30 , H01L21/027
摘要： 【課題】保守作業者の負担を低減しつつ長期にわたって露光処理の効率および精度を維持することが可能な露光装置、基板処理装置、露光方法および基板処理方法を提供する。 【解決手段】露光装置100の動作モードが露光モードと保守モードとで切り替えられる。露光モードにおいては、筐体121内の酸素濃度が大気中の酸素濃度よりも低い露光濃度になるように筐体121内の雰囲気が吸引装置173から排気される。この状態で、光源部163から筐体121内の基板Wに真空紫外線が照射されることにより基板Wが露光される。保守モードにおいては、筐体121内の酸素濃度が露光モードにおける酸素濃度よりも高い状態で、光源部163から筐体121内の雰囲気に真空紫外線が照射されることによりオゾンが発生される。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6985803B2
公开(公告)日：2021-12-22
申请号：JP2017038235
申请日：2017-03-01
申请人： 株式会社SCREENホールディングス
IPC分类号： H01L21/683 , G03F7/20 , H01L21/027
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公开(公告)号：JP2018147917A
公开(公告)日：2018-09-20
申请号：JP2017038235
申请日：2017-03-01
申请人： 株式会社SCREENホールディングス
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/7055 , B81C1/00 , G03F7/168 , G03F7/2004 , G03F7/70008 , G03F7/70858 , G03F7/70933 , H01L21/0274 , H01L21/31133 , H01L21/67115 , H01L21/67253 , H01L21/67748 , H01L21/68742
摘要： 【課題】基板の露光処理の効率を向上させることが可能な露光装置、基板処理装置、露光方法および基板処理方法を提供する。 【解決手段】基板Wが収容された処理室120内の雰囲気が吸引装置173により排気される。処理室120内の酸素濃度が予め定められた露光開始濃度まで低下した時点で、光源部163による基板Wへの真空紫外線の照射が開始される。基板Wへの真空紫外線の照射期間に、照度計183により真空紫外線の一部が受光され、受光された真空紫外線の照度が計測される。計測される照度に基づいて基板Wの露光量が算出され、露光量が予め定められた設定露光量まで上昇した時点で基板Wへの真空紫外線の照射が停止される。露光開始濃度は、1%よりも高くかつ大気中の酸素濃度よりも低く、真空紫外線の照射により酸素原子から生成されるオゾンが基板Wの被処理面の膜に損傷を与えないように予め定められる。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6845058B2
公开(公告)日：2021-03-17
申请号：JP2017057225
申请日：2017-03-23
申请人： 株式会社SCREENホールディングス
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20
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公开(公告)号：JP6811119B2
公开(公告)日：2021-01-13
申请号：JP2017038234
申请日：2017-03-01
申请人： 株式会社SCREENホールディングス
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20
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公开(公告)号：JP6768561B2
公开(公告)日：2020-10-14
申请号：JP2017038236
申请日：2017-03-01
申请人： 株式会社SCREENホールディングス
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
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