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发明专利
欠陥を検査する方法、ウエハまたは半導体素子の品質管理方法及び欠陥検査装置有权
Title translation: 用于检查缺陷，质量控制方法以及晶片或半导体器件的缺陷检查装置的方法

公开(公告)号：JP5713264B2

公开(公告)日：2015-05-07

申请号：JP2011541984

申请日：2010-11-19

Applicant: 独立行政法人産業技術総合研究所

Inventor： 坂井一文 , 野中一洋 , 山口信介

IPC: G01B11/30 , G01N21/956

CPC classification number: G01N21/9505 , G01L1/241 , G01N21/21 , H01L22/12 , H01L2924/0002

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