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公开(公告)号：KR102227003B1
公开(公告)日：2021-03-11
申请号：KR1020170054192A
申请日：2017-04-27
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: H01L21/306 , H01L21/02
CPC classification number: H01L21/30604 , H01L21/02041 , H01L21/02172 , H01L21/0231
Abstract: 본 발명은 산화갈륨의 식각방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 산화갈륨 식각방법은 (a) 식각액(20)이 채워진 반응기(10)를 준비하는 단계(S100), (b) 식각액(20) 내에 산화갈륨(1)을 담지하는 단계(S200), (c) 산화갈륨(1)에 자외선을 조사하여 산화갈륨(1)의 표면을 식각하는 단계(S300)를 포함한다.
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