公开(公告)号：KR102230150B1

公开(公告)日：2021-03-23

申请号：KR1020197015583A

申请日：2015-08-19

Applicant: 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.

Inventor： 카우스투브 바타차리야 ,  헨리쿠스 빌헬무스 마리아 반 부엘 ,  크리스토프 다비드 푸케 ,  헨드릭 얀 히데 스밀데 ,  마우리츠 반 데르 스하르 ,  아리에 예프레이 덴 보에프 ,  리차드 요한네스 프란시스쿠스 반 하렌 ,  싱 란 리우 ,  요한네스 마르쿠스 마리아 벨트만 ,  안드레아스 푹스 ,  오메르 아부바커 오메르 아담 ,  미하엘 쿠비스 ,  마르틴 야코부스 요한 야크

IPC: G03F7/20 ,  G01B11/14

CPC classification number: G03F7/70633 ,  G01B11/14 ,  G03F7/70608 ,  G03F7/70683

Abstract: 적어도 제 1 서브-타겟 및 적어도 제 2 서브-타겟을 갖는 회절 측정 타겟이 제공되고, (1) 제 1 및 제 2 서브-타겟들은 각각 주기적 구조체들의 쌍을 포함하며, 제 1 서브-타겟은 제 2 서브-타겟과 상이한 디자인을 갖고, 상이한 디자인은 제 2 서브-타겟 주기적 구조체들과 상이한 피치, 피처 폭, 공간 폭, 및/또는 세그멘테이션을 갖는 제 1 서브-타겟 주기적 구조체들을 포함하거나, (2) 제 1 및 제 2 서브-타겟들은 각각 제 1 층에 제 1 및 제 2 주기적 구조체들을 포함하고, 제 3 주기적 구조체가 제 1 층 아래의 제 2 층에서 제 1 주기적 구조체 밑에 적어도 부분적으로 위치되며, 제 2 층에서 제 2 주기적 구조체 밑에 주기적 구조체가 존재하지 않고, 제 4 주기적 구조체가 제 2 층 아래의 제 3 층에서 제 2 주기적 구조체 밑에 적어도 부분적으로 위치된다. 서브-타겟들 주변에 어시스트 피처를 위치시키는 것을 수반하는 이러한 측정 타겟을 계획하는 방법이 제공되고, 어시스트 피처는 서브-타겟들의 주변에서의 측정된 세기 피크들을 감소시키도록 구성된다.

公开(公告)号：KR20210032009A

公开(公告)日：2021-03-23

申请号：KR1020217007540A

申请日：2015-08-19

Applicant: 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.

Inventor： 카우스투브 바타차리야 ,  헨리쿠스 빌헬무스 마리아 반 부엘 ,  크리스토프 다비드 푸케 ,  헨드릭 얀 히데 스밀데 ,  마우리츠 반 데르 스하르 ,  아리에 예프레이 덴 보에프 ,  리차드 요한네스 프란시스쿠스 반 하렌 ,  싱 란 리우 ,  요한네스 마르쿠스 마리아 벨트만 ,  안드레아스 푹스 ,  오메르 아부바커 오메르 아담 ,  미하엘 쿠비스 ,  마르틴 야코부스 요한 야크

IPC: G03F7/20 ,  G01B11/14

CPC classification number: G03F7/70683 ,  G03F7/70633 ,  G01B11/14 ,  G03F7/70608

Abstract: 적어도 제 1 서브-타겟 및 적어도 제 2 서브-타겟을 갖는 회절 측정 타겟이 제공되고, (1) 제 1 및 제 2 서브-타겟들은 각각 주기적 구조체들의 쌍을 포함하며, 제 1 서브-타겟은 제 2 서브-타겟과 상이한 디자인을 갖고, 상이한 디자인은 제 2 서브-타겟 주기적 구조체들과 상이한 피치, 피처 폭, 공간 폭, 및/또는 세그멘테이션을 갖는 제 1 서브-타겟 주기적 구조체들을 포함하거나, (2) 제 1 및 제 2 서브-타겟들은 각각 제 1 층에 제 1 및 제 2 주기적 구조체들을 포함하고, 제 3 주기적 구조체가 제 1 층 아래의 제 2 층에서 제 1 주기적 구조체 밑에 적어도 부분적으로 위치되며, 제 2 층에서 제 2 주기적 구조체 밑에 주기적 구조체가 존재하지 않고, 제 4 주기적 구조체가 제 2 층 아래의 제 3 층에서 제 2 주기적 구조체 밑에 적어도 부분적으로 위치된다. 서브-타겟들 주변에 어시스트 피처를 위치시키는 것을 수반하는 이러한 측정 타겟을 계획하는 방법이 제공되고, 어시스트 피처는 서브-타겟들의 주변에서의 측정된 세기 피크들을 감소시키도록 구성된다.