公开(公告)号：KR20210031958A

公开(公告)日：2021-03-23

申请号：KR1020217004729A

申请日：2019-07-08

Applicant: 컴베리, 엘엘씨

Inventor： 블라디미르 이고르비치 메시체리야코프 ,  안톤 미하일로비치 마나코프 ,  니콜라이 아나톨리예비치 포고로프 ,  블라디미르 알렉산드로비치 추구노브

IPC: G02F1/1524 ,  C23C14/00 ,  C23C14/08 ,  C23C14/35

CPC classification number: C23C14/352 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/081 ,  C23C14/083 ,  G02F1/1524

Abstract: 무기 일렉트로크로믹 재료 및 제조 방법은 반응성 PDC 마그네트론을 사용한다. 여기서, 일렉트로크로믹 재료의 공동-스퍼터링 합성이 (1)카바이드 타겟으로부터 직접; (2)Si, Ge, P, B 등과 같은 비금속 원소뿐만 아니라 관련 전이 금속 및 그래파이트 타겟으로부터; (3)복합 타겟(전이 금속, 비금속 원소 및 그래파이트 분말의 미세 분말 혼합물)로부터 직접 수행된다. 스퍼터링은 1 내지 4 개의 타겟으로부터 즉시 수행될 수 있다. 공동-스퍼터링의 경우, Ar/O
2 /N
2 , Ar/H
2 /N
2 /O
2 , Ar/NH
3 /O
2 , Ar/CO/N
2 /O
2 , Ar/CO/H
2 /N
2 /O
2 , Ar/CH
4 /N
2 /O
2 and Ar/NH
3 /CO/N
2 /O
2 의 가스 혼합물의 조합이 사용될 수 있다. 이것은 증가된 전자 및 이온 전도도, 더 높은 착색 및 양호한 사이클링(수명)을 갖는 일렉트로크로믹 재료를 얻을 수 있게 한다. 또한, 눈에 중성인 회색, 검정색 및 갈색뿐만 아니라 청색의 다른 색조를 얻을 수 있다. 스퍼터링된 일렉트로크로믹 필름은 열-스플리팅" 사전-인터칼레이션된 박막에 의해 추가로 개선되었다. 이를 통해 더 고도의 착색 및 표백 속도 및 더 나은 수명을 얻을 수 있다.