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公开(公告)号:KR102225468B1
公开(公告)日:2021-03-10
申请号:KR1020190048606A
申请日:2019-04-25
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L31/032 , H01L31/0216 , H01L31/0445 , H01L31/18
CPC classification number: H01L31/03923 , H01L31/0324 , C03C17/3605 , C03C17/3642 , C03C17/3649 , C04B35/547 , C04B35/62222 , C04B35/6365 , H01L31/02167 , H01L31/0322 , H01L31/03928 , H01L31/0445 , H01L31/046 , H01L31/18 , H01L31/1872 , C03C17/06 , C03C2201/30 , C03C2217/23 , C03C2217/26 , C03C2217/268 , C03C2217/287 , C03C2217/289 , C03C2218/116 , C03C2218/154 , C03C3/087 , H01L31/022475 , Y02E10/541
Abstract: 알칼리 원소를 도입한 칼코파이라이트 화합물계 박막 및 그 제조 방법이 제공된다. 상기 알칼리 원소를 도입한 칼코파이라이트 화합물계 박막은 알칼리 원소의 도입으로 우수한 칼코파이라이트 결정특성과 표면 특성이 향상된 필름특성을 구현할 수 있고, 박막내 구성원소 분포를 제어하여 향상된 광학적 특성을 나타낼 수 있다. 이에 의해 태양전지의 성능을 개선시킬 수 있다. 상기 칼코파이라이트 화합물계 박막은 용액 공정을 통해 용이하게 제조될 수 있다.