KR102239478B1 - Preparation method for patterned perovskite layer and perovskite layer comprising the pattern prepared thereby

    公开(公告)号:KR102239478B1

    公开(公告)日:2021-04-12

    申请号:KR1020190093528A

    申请日:2019-07-31

    摘要: 본 발명의 목적은 패턴화된 페로브스카이트 층을 형성하는 방법 및 이에 의하여 제조되는 패턴을 포함하는 페로브스카이트 층을 제공하는데 있다. 이를 위하여 본 발명은 기판 상에 고분자로 양각 패턴을 형성하는 단계(단계 1); 화학기상증착법을 이용하여 상기 기판 중 상기 양각 패턴이 형성되지 않은 부분에 선택적으로 페로브스카이트 구조를 위한 제1 전구체를 증착하는 단계(단계 2); 상기 선택적으로 증착된 제1 전구체와 페로브스카이트 구조를 위한 제2 전구체를 반응시켜 패턴화된 페로브스카이트 층을 형성하는 단계(단계 3);를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴화된 페로브스카이트 층의 형성방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 간단한 공정을 사용하면서도, 높은 선택도로 패터닝을 수행할 수 있어, 고품질의 패턴화된 페로브스카이트 층을 제조할 수 있고, 이에 따라, 이를 사용하는 태양전지의 광전변환효율을 향상시킬 수 있는 등, 적용분야에서의 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.