公开(公告)号：KR102230032B1

公开(公告)日：2021-03-19

申请号：KR1020190134490A

申请日：2019-10-28

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 이헌수 ,  김명종 ,  정운석 ,  김청훈 ,  장세규 ,  안석훈

IPC: C01B21/064 ,  B01J19/08

CPC classification number: C01B21/0641 ,  B01J19/08 ,  B01J2219/0894 ,  C01P2004/13

Abstract: 질화붕소 나노튜브 제조 시스템은 챔버부, 전구체 로드, 레이저 조사부, 플라즈마 발생부 및 수집부를 포함한다. 상기 챔버부는 내부 공간을 형성한다. 상기 전구체 로드는 상기 내부 공간에 위치하며, 소정길이를 가진다. 상기 레이저 조사부는 상기 전구체 로드를 향하여 레이저를 조사한다. 상기 플라즈마 발생부는 상기 레이저 조사에 따라 전구체가 반응하는 영역으로 플라즈마를 발생한다. 상기 수집부는 상기 전구체가 반응하는 영역에서 합성되는 나노튜브를 수거한다.