公开(公告)号：KR20210034952A

公开(公告)日：2021-03-31

申请号：KR1020190116946A

申请日：2019-09-23

Applicant: 한국기초과학지원연구원

Inventor： 백지영 ,  최명철 ,  최창민 ,  이상주 ,  민부기

IPC: H01J49/26 ,  H01J49/04

CPC classification number: H01J49/26 ,  H01J49/164 ,  G01N27/62 ,  H01J49/0031 ,  H01J49/0036 ,  H01J49/0418 ,  H01J49/40

Abstract: 일 실시예에 따른 질량 분석 시스템은, 진공 챔버 내에 제공되어 시료가 배치되는 시료대, 상기 시료대에 배치되는 시료에 대하여 스퍼터링 또는 이온화를 수행하는 조사부, 상기 조사부에 의하여 상기 시료로부터 발생되는 이온화된 시료를 분석하는 분석부 및 상기 조사부 또는 상기 분석부를 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 제어부는 제1 공정 및 제2 공정을 수행하고, 상기 제1 공정은 상기 시료의 일 부분에 대하여 레이저 또는 이온빔을 조사하여 상기 시료를 구성하는 적어도 하나 이상의 물질들에 대한 위치 정보를 파악하며, 상기 제2 공정은 상기 위치 정보에 기반하여 상기 시료의 타 부분에 대하여 상기 시료를 구성하는 물질이 변화되는 구간에서는 제1 출력값의 레이저 또는 이온빔을 조사하고, 그 이외의 구간에서는 제2 출력값의 레이저 또는 이온빔을 조사할 수 있다.