KR20210034263A - Optical system for inspecting a surface of an object

    公开(公告)号:KR20210034263A

    公开(公告)日:2021-03-30

    申请号:KR1020190115966A

    申请日:2019-09-20

    CPC classification number: G01N21/8806 G01N21/55 G02B17/0808 G02B7/003

    Abstract: 본 발명에 따른 자외선 현미경용 대물렌즈는 피검체의 표면 검사를 위한 자외선 현미경에 구성될 수 있다. 여기에서, 자외선 현미경용 대물렌즈는 광축을 중심으로 정렬되어 구성된 부경; 및 중앙에 관통공이 형성되는 주경;을 포함하여 구성되되, 상기 부경은, 상기 자외선 현미경에 구성된 자외선 광원으로부터 출력되며 상기 주경의 관통공을 통과하여 입사되는 입사광을 향해 볼록형 반사면이 구성되고, 상기 주경은, 상기 부경으로부터 반사되는 입사광을 향해 오목형의 비구면 반사면이 구성되어, 상기 부경으로부터 반사되는 입사광을 피검체의 표면에 집속시키도록 구성되고, 상기 자외선 광원과 상기 부경의 광경로 사이에 구성되어, 상기 자외선 광원에서 출력되는 출력광의 직경을 변경시켜 상기 입사광을 부경으로 출력하는 콜리메이션부;를 더 포함하여 구성된다.

    KR20210034952A - A mass spectrometry system and a mass spectrometry method

    公开(公告)号:KR20210034952A

    公开(公告)日:2021-03-31

    申请号:KR1020190116946A

    申请日:2019-09-23

    Abstract: 일 실시예에 따른 질량 분석 시스템은, 진공 챔버 내에 제공되어 시료가 배치되는 시료대, 상기 시료대에 배치되는 시료에 대하여 스퍼터링 또는 이온화를 수행하는 조사부, 상기 조사부에 의하여 상기 시료로부터 발생되는 이온화된 시료를 분석하는 분석부 및 상기 조사부 또는 상기 분석부를 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 제어부는 제1 공정 및 제2 공정을 수행하고, 상기 제1 공정은 상기 시료의 일 부분에 대하여 레이저 또는 이온빔을 조사하여 상기 시료를 구성하는 적어도 하나 이상의 물질들에 대한 위치 정보를 파악하며, 상기 제2 공정은 상기 위치 정보에 기반하여 상기 시료의 타 부분에 대하여 상기 시료를 구성하는 물질이 변화되는 구간에서는 제1 출력값의 레이저 또는 이온빔을 조사하고, 그 이외의 구간에서는 제2 출력값의 레이저 또는 이온빔을 조사할 수 있다.

    KR102229881B1 - Apparatus of measuring photothermal reflectance spectrum and operating method thereof

    公开(公告)号:KR102229881B1

    公开(公告)日:2021-03-19

    申请号:KR1020190119427A

    申请日:2019-09-27

    CPC classification number: G01N21/47 G01N21/1717 G01N21/39 G01N21/55 G02B27/10

    Abstract: 광열반사 스펙트럼 측정장치가 개시된다. 일 실시예는 여기 광 신호를 출력하는 파장가변 연속파 광원부; 주파수를 기초로 상기 여기 광 신호를 변조하는 변조부 -상기 변조된 여기 광 신호는 샘플의 나노 구조체의 온도 변화를 야기함-; 프로브 광 신호가 상기 샘플에 조사되도록 상기 프로브 광 신호를 출력하는 프로브 광원부; 상기 조사에 의해 상기 샘플로부터 반사된 프로브 광 신호를 검출하는 제1 검출부 -상기 반사된 프로브 광 신호에는 상기 온도 변화에 의해 발생하는 이벤트가 반영됨-; 조명 광 신호가 상기 샘플로 조사된 경우, 상기 조명 광 신호가 상기 나노 구조체에 의해 산란된 산란 신호를 수집하는 제2 검출부, 및 상기 제2 검출부의 검출 결과를 기초로 상기 나노 구조체를 찾고 상기 제1 검출부의 수집 결과를 기초로 상기 나노 구조체의 광열반사 이미지를 생성하는 제어부를 포함한다.

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