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公开(公告)号：JP2017087464A
公开(公告)日：2017-05-25
申请号：JP2015217006
申请日：2015-11-04
Inventor： YOSHIKAWA MASAO , KURITA NORIYUKI , SATO TAKAHIRO
Abstract: 【課題】液体吐出装置用基板の信頼性の低下を抑制することができる液体吐出装置用基板の製造方法を提供する。【解決手段】基板20の表面および裏面にポリシリコンを形成する工程と、基板の表面に形成されたポリシリコンをパターニングしてトランジスタ31のゲート電極33を形成する工程と、トランジスタに接続された液体吐出部40を基板の表面の側に形成する工程と、基板の裏面に形成されたポリシリコンを覆う保護膜を形成する工程と、を有する。【選択図】図2
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2.发明专利Method of manufacturing electron-emitting device and method of manufacturing image display apparatus 审中-公开制造电子发射装置的方法和制造图像显示装置的方法
公开(公告)号：JP2010146914A
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：JP2008324464
申请日：2008-12-19
Inventor： NISHIMURA MASARU , KOBAYASHI TAMAKI , MIYAMOTO YUSUKE , MORIGUCHI TAKUTO , TAKEUCHI HIDEJI , SATO TAKAHIRO
IPC: H01J9/02
CPC classification number: H01J1/3046 , H01J9/025 , H01J31/127 , H01J2201/30423 , H01J2329/0423
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing electron-emitting element which has high electron-emitting efficiency and can restrain generation of leakage current, and has high reliability. SOLUTION: Etching treatment of a conductive film is performed in a film-thickness direction on an insulating layer, having an upper face and a side face connected with the upper face via a corner section, after the conductive film extending from the side face to the upper face is formed, above the side face and the upper face, with equivalent film quality. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
Abstract translation: 解决的问题：提供一种具有高电子发射效率并且可以抑制泄漏电流产生的电子发射元件的制造方法，并且具有高可靠性。 解决方案：在导电膜从侧面延伸之后，在绝缘层上的膜厚度方向上进行导电膜的蚀刻处理，该绝缘层具有上表面和侧面经由拐角部分与上表面连接的侧面 面对上表面形成，在侧面和上表面上方，具有相当的膜质量。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT
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3.发明专利Electron emitting device, electron source, visual display unit, information display reproducing apparatus, and method for manufacturing them 审中-公开电子发射装置，电子源，视觉显示装置，信息显示再生装置及其制造方法
公开(公告)号：JP2010067477A
公开(公告)日：2010-03-25
申请号：JP2008233167
申请日：2008-09-11
Inventor： MORIGUCHI TAKUTO , TAKEUCHI HIDEJI , NUKANOBU TSUNEKI , SATO TAKAHIRO , TSUKAMOTO TAKEO
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electron emitting device which has stable electron emission characteristics having a small variation for a long term, and also to provide an electron source. SOLUTION: The electron emitting device includes a pair of conductive films separated and placed in a first direction on the surface of a substrate; and a plurality of carbon films which connect a pair of conductive films, respectively, have gaps, and are separated from each other and placed in a second direction that differs from the first direction. The device is characterized in that: a part of the surface of the substrate is exposed between the plurality of carbon films in the second direction; and the exposed part is one part of the surface of the substrate and is composed of a material that suppresses deposition of carbon in comparison with a material constituting the part covered by the plurality of carbon films. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
Abstract translation: 解决的问题：提供一种具有稳定的长期变化的电子发射特性的电子发射器件，并且还提供电子源。 解决方案：电子发射器件包括在衬底的表面上沿第一方向分离并放置的一对导电膜; 并且分别连接一对导电膜的多个碳膜具有间隙，并且彼此分离并且设置在与第一方向不同的第二方向上。 该装置的特征在于：基板表面的一部分在第二方向上暴露在多个碳膜之间; 并且暴露部分是基板表面的一部分，并且由与构成多个碳膜覆盖部分的材料相比抑制碳沉积的材料构成。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT
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公开(公告)号：JP2009277458A
公开(公告)日：2009-11-26
申请号：JP2008126627
申请日：2008-05-14
Inventor： NUKANOBU TSUNEKI , SATO TAKAHIRO , MORIGUCHI TAKUTO , TAKEUCHI HIDEJI
CPC classification number: H01J1/316 , H01J9/027 , H01J2201/3165 , H01J2329/0481 , H01J2329/0489
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electron emitter having stable electron emission characteristics with less fluctuations for a long period. SOLUTION: The electron emitter is composed of element electrodes 2, 3 opposed to each other with a distance L on a substrate 1, a plurality of conductive films 4a, 4b connected respectively to the element electrodes 2, 3, and carbon films 6a, 6b deposited in the vicinity of a gap 5 between the conductive films 4a, 4b. The sheet resistance of the conductive films 4a, 4b is 1×10 2 to 1×10 7 Ω/square, and the relations of the width W1 of the conductive films 4a, 4b and the distance L1 between the element electrodes 2, 3 are made W1/L1≤0.18. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
Abstract translation: 要解决的问题：提供具有稳定的电子发射特性的电子发射器，其长时间波动较小。 解决方案：电子发射体由在基板1上具有距离L的彼此相对的元件电极2,3组成，分别连接到元件电极2,3的多个导电膜4a，4b和碳膜 6a，6b沉积在导电膜4a，4b之间的间隙5附近。 导电膜4a，4b的薄层电阻为1×10
2 至1×10 7Ω/□，导电膜4a的宽度W1的关系 4b，元件电极2,3之间的距离L1为W1 /L1≤0.18。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT -
5.发明专利Method of manufacturing fiber containing carbon, and method of manufacturing electronic device with a plurality of fibers containing carbon, arranged on substrate 审中-公开制造含碳纤维的方法以及制备包含碳的纤维的电子装置的方法，其安置在基板上
公开(公告)号：JP2005169554A
公开(公告)日：2005-06-30
申请号：JP2003412010
申请日：2003-12-10
Inventor： MIYAZAKI KAZUYA , KUBOTA OICHI , SATO TAKAHIRO
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing an image forming device, capable of manufacturing an electron source substrate stably without characteristic dispersion and manufacturing the image forming device with excellent display quality over a long period of time, at low cost. SOLUTION: The method of manufacturing the electronic device has a first process for forming a first electrode with a catalyst layer on the surface, and a second electrode without a catalyst layer on the surface, on the substrate, and a second process for growing the fibers containing carbon, on the substrate by heating the substrate in the state of bringing gas containing carbon, into contact with the catalyst layer. In the second process, the length of the fibers containing carbon is measured, and the growth quantity of the fibers containing carbon is controlled based on the measured result. COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
Abstract translation: 解决问题的方案：提供一种图像形成装置的制造方法，其能够稳定地制造电子源基板而无需特性分散，并且以低成本制造具有优异显示质量的图像形成装置 。 解决方案：电子器件的制造方法具有在表面上形成具有催化剂层的第一电极和在基板上的表面上没有催化剂层的第二电极的第一工艺，以及用于 通过在使含有碳的气体的状态下加热衬底与催化剂层接触，在基材上生长含有碳的纤维。 在第二工序中，测定含碳纤维的长度，根据测定结果控制含碳纤维的生长量。 版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2015003444A
公开(公告)日：2015-01-08
申请号：JP2013130001
申请日：2013-06-20
Inventor： SATO TAKAHIRO , KURITA NORIYUKI , SASAKI KEIICHI
Abstract: 【課題】インク供給口を形成するのに有利な記録ヘッドを提供する。【解決手段】基板の第1面に設けられ、記録媒体に対して記録を行うための記録部と、前記基板の前記第1面から前記第1面と対向する第2面まで貫通して設けられ、前記記録部にインクを供給するためのインク供給口と、を有する記録ヘッドの製造方法であって、前記基板の少なくとも前記第2面及び側面を覆い、前記インク供給口の配される位置に対応した開口を有する第1の保護膜を形成する工程と、前記基板の前記第1面の側に前記記録部を形成する工程と、前記第1の保護膜のうちの前記基板の前記側面を覆う部分と、前記記録部と、を覆う第2の保護膜を形成する工程と、前記第1の保護膜の前記開口を介して前記第2面の側からエッチングを行うことにより、前記基板の一部を除去する工程と、を有し、前記第1の保護膜と前記基板との結合力は、前記第2の保護膜に含まれる材料の前記基板との結合力よりも大きい。【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够有利地形成供墨口的记录头。解决方案：提供了一种用于记录头的制造方法，该记录头设置在基板的第一表面上，并具有用于执行的记录部分 在记录介质和供墨口上进行记录，所述供墨口通过与所述第一表面相对的第二表面从所述基板的所述第一表面穿透而提供给所述记录部分，所述方法包括以下步骤：形成第一保护膜 其至少覆盖所述基板的第二表面和侧表面，并且具有对应于所述供墨口布置的位置的开口; 在基板的第一表面侧上形成记录部分; 形成覆盖覆盖所述第一保护膜的基板的侧面的部分和所述记录部的第二保护膜; 以及通过经由所述第一保护膜的开口从所述第二表面侧进行蚀刻来去除所述衬底的一部分，其中所述第一保护膜和所述衬底之间的接合强度大于所述第二保护膜中包含的材料之间的接合强度 薄膜和基材。
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公开(公告)号：JP2014197669A
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：JP2014012784
申请日：2014-01-27
Inventor： SATO TAKAHIRO
IPC: H01S1/02 , G01N21/3586 , H01L31/0264
CPC classification number: H01L31/1844 , H01L21/02381 , H01L21/0245 , H01L21/02463 , H01L21/02502 , H01L21/02546 , H01L21/0262 , H01L21/02631 , H01L31/09 , H01L31/1852 , H01Q9/285 , Y02E10/544
Abstract: 【課題】性能劣化の少ない光伝導素子をSi基板上に作製すること。【解決手段】テラヘルツ波を発生又は検出する光伝導素子は、Si基板1と、Geを含むバッファ層2と、Ga及びAsを含む第1の半導体層3と、Ga及びAsを含む第2の半導体層4と、電極5と、をこの順に備える。第2の半導体層4の元素比率は、第1の半導体層3のGa/Asの元素比率よりも小さい。【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：制造在Si衬底上几乎没有性能劣化的光电导元件。解决方案：产生或检测太赫兹波的光电导元件包括：Si衬底1; 包括Ge的缓冲层2; 包括Ga和As的第一半导体层3; 包括Ga和As的第二半导体层4; 和电极5。 第二半导体层4的元素比小于第一半导体层3的Ga / As元素比。
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8.发明专利Method for manufacturing carbon fiber, electron emitter, electron source, image forming apparatus, light bulb and secondary battery 有权制造碳纤维，电子发射器，电子源，图像形成装置，灯泡和二次电池的方法
公开(公告)号：JP2004307324A
公开(公告)日：2004-11-04
申请号：JP2004058674
申请日：2004-03-03
Inventor： KITAMURA SHIN , TSUKAMOTO TAKEO , KAWATE SHINICHI , SATO TAKAHIRO , OYAMA KAZUNARI , IWAKI TAKASHI , MIYAZAKI KAZUYA , SHIMAZU AKIRA
CPC classification number: B82Y30/00 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C01B32/162 , C23C16/0281 , C23C16/26 , D01F9/1275 , H01J2201/30469 , H01J2209/0223 , Y10T428/2913
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacture method by which carbon fibers having a uniform film thickness are obtained independently of growth positions and growth areas on a substrate, with respect to a method for manufacturing carbon fibers by growing carbon fibers through a catalyst by thermal CVD. SOLUTION: A substrate on which a catalyst layer has been formed is set in a reaction vessel, the atmosphere in the reaction vessel is set to be a depressurized atmosphere including a carbon-containing gas having a partial pressure of 10 Pa or less, and the substrate is heated to grow carbon fibers on the catalyst layer. COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种制造方法，通过该方法可以独立于基材上的生长位置和生长区域获得具有均匀膜厚度的碳纤维，关于通过生长碳纤维生产碳纤维的方法 催化剂通过热CVD。 解决方案：将其上形成有催化剂层的基板放置在反应容器中，将反应容器中的气氛设定为包含分压为10Pa以下的含碳气体的减压气氛 并且将基板加热以在催化剂层上生长碳纤维。 版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI
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公开(公告)号：JP2004288592A
公开(公告)日：2004-10-14
申请号：JP2003082534
申请日：2003-03-25
Inventor： SATO TAKAHIRO
IPC: H01J9/02 , H01L21/306
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for accurately disposing carbon fiber which is excellent as an electron emitting member at a desired position. SOLUTION: This method for patterning a carbon fiber film has the following: (A) a process to form a carbon fiber film 12 having a first protective film 13 on a substrate 11; (B) a process to form a second protective film 14 having a desired pattern on the first protective film 13; (C) a process to apply dry-etching to the first protective film 13 and the carbon fiber film 12; (D) a process to remove the first protective film 13 and the second protective film 14. COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
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10.发明专利Electron emitting element, electron source, image display device, and method of manufacturing them 审中-公开电子发射元件，电子源，图像显示装置及其制造方法
公开(公告)号：JP2008027853A
公开(公告)日：2008-02-07
申请号：JP2006202140
申请日：2006-07-25
Inventor： MORIGUCHI TAKUTO , NUKANOBU TSUNEKI , SATO TAKAHIRO , TSUKAMOTO TAKEO
CPC classification number: H01J1/316 , H01J9/027 , H01J31/127 , H01J2201/3165
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electron emitting element for maintaining superior characteristics over a long period. SOLUTION: A base body is provided with a first part and a second part which has lower heat conductivity than that of the first part and which is juxtaposed at the first part. A first conductive membrane is installed on the first part while a second conductive membrane is installed on the second part, and at least one part of a gap is positioned on a boundary between the first part and the second part. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种用于长期保持优异特性的电子发射元件。 解决方案：基体设置有第一部分和第二部分，该第一部分和第二部分的热导率低于第一部分，并且在第一部分处并置。 第一导电膜安装在第一部分上，而第二导电膜安装在第二部分上，并且间隙的至少一部分位于第一部分和第二部分之间的边界上。 版权所有（C）2008，JPO＆INPIT
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