-
公开(公告)号:JPS6366905B2
公开(公告)日:1988-12-22
申请号:JP1303080
申请日:1980-02-07
发明人: YAMAGISHI RYOZO , YOSHIOKA OSAMU , ISHIKAWA TETSUO
-
-
公开(公告)号:JPS5818991B2
公开(公告)日:1983-04-15
申请号:JP6661079
申请日:1979-05-29
发明人: YAMAGISHI RYOZO , ONDA MAMORU , YOSHIOKA OSAMU , ISHIKAWA TETSUO
-
公开(公告)号:JPS636631B2
公开(公告)日:1988-02-10
申请号:JP1303180
申请日:1980-02-07
发明人: YAMAGISHI RYOZO , YOSHIOKA OSAMU , ISHIKAWA TETSUO
IPC分类号: C23F1/26
-
公开(公告)号:JPS5948959B2
公开(公告)日:1984-11-29
申请号:JP11827378
申请日:1978-09-26
发明人: YAMAGISHI RYOZO , YOSHIOKA OSAMU , ONDA MAMORU
CPC分类号: Y02E30/40
-
公开(公告)号:JPS5852556B2
公开(公告)日:1983-11-24
申请号:JP6810979
申请日:1979-05-31
发明人: YAMAGISHI RYOZO , YOSHIOKA OSAMU , ONDA MAMORU , ISHIKAWA TETSUO
CPC分类号: C23C6/00
-
公开(公告)号:JPH0519820B2
公开(公告)日:1993-03-17
申请号:JP10957283
申请日:1983-06-17
IPC分类号: H01L23/50 , H01L23/495
-
公开(公告)号:JPH0457101B2
公开(公告)日:1992-09-10
申请号:JP2997685
申请日:1985-02-18
发明人: YAMAGISHI RYOZO , YOSHIOKA OSAMU , KAWANOBE TOORU
IPC分类号: H01L21/60 , H01L23/495
-
公开(公告)号:JPS6317917B2
公开(公告)日:1988-04-15
申请号:JP10937178
申请日:1978-09-06
发明人: YOSHIOKA OSAMU , ISHIKAWA TETSUO , YAMAGISHI RYOZO
-
公开(公告)号:JP2872421B2
公开(公告)日:1999-03-17
申请号:JP3564891
申请日:1991-02-04
申请人: HITACHI DENSEN KK
发明人: NISHIMURA HIDETO , ONDA MAMORU , YOSHIOKA OSAMU
IPC分类号: H01L21/60
-
-
-
-
-
-
-
-
-